公开(公告)号：CN1821053B

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200610011195.5

申请日：2006-01-13

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张跃 ,  戴英 ,  黄运华 ,  贺建 ,  刘娟 ,  张晓梅 ,  齐俊杰 ,  廖庆亮

IPC: B82B3/00 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明提供了一种低温无催化剂气相沉积制备四针状氧化锌纳米棒的方法，属于纳米材料制备技术领域。工艺为：将硅(100)基片用去离子水和酒精分别冲洗干净，作为沉积基片；将Zn粉放置于瓷舟中，然后将硅基片倒扣于瓷舟上，把瓷舟放入管式炉中的石英管中部，使用流量计调节通入石英管中的氩气和氧气的总流量及两种气体的比例。在此气氛下将管式炉升温至600℃～700℃，然后保温20～25分钟，之后取出硅片，其上沉积的白色绒状物即为所需产品。本发明的优点在于：实现了无催化剂、低温制备四针状ZnO纳米棒，并保证产品质量高、可控性好、形貌丰富，具备规模化生产的前景。

公开(公告)号：CN1821053A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200610011195.5

申请日：2006-01-13

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张跃 ,  戴英 ,  黄运华 ,  贺建 ,  刘娟 ,  张晓梅 ,  齐俊杰 ,  廖庆亮

IPC: B82B3/00 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明提供了一种低温无催化剂气相沉积制备四针状氧化锌纳米棒的方法，属于纳米材料制备技术领域。工艺为：将硅(100)基片用去离子水和酒精分别冲洗干净，作为沉积基片；将Zn粉放置于瓷舟中，然后将硅基片倒扣于瓷舟上，把瓷舟放入管式炉中的石英管中部，使用流量计调节通入石英管中的氩气和氧气的总流量及两种气体的比例。在此气氛下将管式炉升温至600℃～700℃，然后保温20～25分钟，之后取出硅片，其上沉积的白色绒状物即为所需产品。本发明的优点在于：实现了无催化剂、低温制备四针状ZnO纳米棒，并保证产品质量高、可控性好、形貌丰富，具备规模化生产的前景。