-
公开(公告)号：CN106514456A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201610936000.1
申请日：2016-11-01
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明属于光学精密测试、精密加工技术领域，涉及一种大口径精密非球面加工检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型高精度非球面元件面形的检测与加工。本发明基于直线/回转基准技术等，通过将加工设备的功能与检测设备的功能相融合，实现了基于精密气浮回转中心的集加工和检测功能于一体的大口径非球面元件的高精度加工检测。本发明利用研抛关键臂，依据设定的工艺加工参数对工件进行反复研抛，然后利用测量臂上的传感测量系统对被研抛工作表面的轮廓参数直接进行检测，计算机测量控制系统依据测得轮廓数据来确定研抛关键臂的加工路径和研磨量，进而提高大口径非球面元件的加工效率和精度。
-
公开(公告)号：CN106514456B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201610936000.1
申请日：2016-11-01
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明属于光学精密测试、精密加工技术领域，涉及一种大口径精密非球面加工检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型高精度非球面元件面形的检测与加工。本发明基于直线/回转基准技术等，通过将加工设备的功能与检测设备的功能相融合，实现了基于精密气浮回转中心的集加工和检测功能于一体的大口径非球面元件的高精度加工检测。本发明利用研抛关键臂，依据设定的工艺加工参数对工件进行反复研抛，然后利用测量臂上的传感测量系统对被研抛工作表面的轮廓参数直接进行检测，计算机测量控制系统依据测得轮廓数据来确定研抛关键臂的加工路径和研磨量，进而提高大口径非球面元件的加工效率和精度。
-
公开(公告)号：CN106441153B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201610936001.6
申请日：2016-11-01
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种大口径非球面精密检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型非球面元件轮廓的高精度检测。本发明基于直线/回转基准技术等，采用回转—直线基准共基面的开放式轮廓仪结构，实现了基于精密气浮回转中心的大口径非球面元件轮廓的高精度检测。本发明采用回转—直线基准系统共基面设计以及测量架的折转设计以及开放式的非龙门结构设计，减小了仪器阿贝误差，最大限度的发挥了精密直线气浮导轨的运动精度，利用与精密直线气浮导轨同步运动的传感测量系统对被测非球面的一条母线轮廓参数直接进行测量；利用精密气浮回转技术，实现被测非球面多条母线轮廓的测量，通过拟合实现了大口径非球面轮廓的高精度快速检测。
-
公开(公告)号：CN106441153A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610936001.6
申请日：2016-11-01
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种大口径非球面精密检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型非球面元件轮廓的高精度检测。本发明基于直线/回转基准技术等，采用回转—直线基准共基面的开放式轮廓仪结构，实现了基于精密气浮回转中心的大口径非球面元件轮廓的高精度检测。本发明采用回转—直线基准系统共基面设计以及测量架的折转设计以及开放式的非龙门结构设计，减小了仪器阿贝误差，最大限度的发挥了精密直线气浮导轨的运动精度，利用与精密直线气浮导轨同步运动的传感测量系统对被测非球面的一条母线轮廓参数直接进行测量；利用精密气浮回转技术，实现被测非球面多条母线轮廓的测量，通过拟合实现了大口径非球面轮廓的高精度快速检测。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.031 秒)
