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公开(公告)号：CN116381275A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310454697.9
申请日：2023-04-25
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： G01P15/093 , G01P15/08
摘要： 本发明公开一种基于光信号检测的MOEMS加速度计，属于加速度精准测量领域。主要由输入光纤1、输出光纤2、可动式微镜3组成，可动式微镜3由质量块3‑1、微弹簧3‑2和微反射镜3‑3组成。加速度计将外界输入的加速度信号转换为光信号。通过对输出光信号的精准检测，可以准确得到加速度过载。本发明要解决的技术问题为：进一步提高微光机电加速度计系统的集成度并实现尺寸微小型化。具有以下优点：(1)结构尺寸微小，(2)高灵敏度，(3)系统工作安全可靠。
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公开(公告)号：CN113204079B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110511479.5
申请日：2021-05-11
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明涉及一种MOEMS光开关抗高过载结构的网格设计方法。包括以下内容：MOEMS光开关由器件层(包括输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构)、埋氧层和衬底层组成。衬底层被设计成镂空的网格状结构，在不影响器件层可动式微镜运动的前提下为器件层提供一种限位止挡结构，当MOEMS光开关受到垂直于器件层表面的高过载冲击时，衬底层的网格状结构可以限制可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构该方向上的运动，防止其因为变形过大而发生断裂，对器件层起到了限位保护作用。本发明要解决的技术问题为：提高MOEMS光开关的抗高过载能力，具有以下优点：(1)抗过载能力强；(2)结构尺寸小；(3)工作稳定、可靠性好。
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公开(公告)号：CN112735936B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202110005187.4
申请日：2021-01-04
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明涉及一种电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀的微光开关加工方法。包括两个方面：首先，利用基于电感耦合等离子体(ICP)技术的双面ICP刻蚀工艺加工SOI晶圆得到反射镜表面粗糙度较大的微光开关；然后，利用基于聚焦离子束技术的加工工艺刻蚀微光开关反射镜表面，完成对反射镜表面的微细加工。基于电感耦合等离子体技术加工微光开关和聚焦离子束刻蚀微光开关反射镜表面相结合的工艺可以有效改善微光开关反射镜表面的粗糙度，提高光路的传输效率。
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公开(公告)号：CN109932782B
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201910287022.3
申请日：2019-04-11
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： G02B6/35
摘要： 本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，属于引信全电子安全系统领域。本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，主要由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构组成。MOEMS光开关的通和断是通过固定式光纤和可动式微镜组成的反射式光路的通和断实现，可动式微镜的运动通过电热驱动器机构实现，微镜上设计有保险槽和定位槽，利用电热保险机构卡入保险槽和定位槽实现对微镜的保险和定位，确保MOEMS光开关的通或断状态。本发明要解决的技术问题为：解决引信全电子安全系统电磁兼容性差的问题，具有下述优点：(1)结构尺寸小；(2)抗过载能力强；(3)电磁兼容性好；(4)工作可靠、适用性强。
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公开(公告)号：CN117538990A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202210914244.5
申请日：2022-08-01
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明公开一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，属于引信安全系统领域。主要由硅基MOEMS光开关装置，磁阻传感器，控制电路等组成。MOEMS光开关装置由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、硅基后坐保险装置、电热拔销器、电热执行器组成。系统的开关通和断通过控制输入光纤、输出光纤和可动式微镜组成的侧壁反射光纤光路通和断实现，系统设计两道保险，第一道保险激励来自后坐过载环境，第二道保险激励来自地磁环境。本发明要解决的技术问题为：进一步提高微光机电安全系统的集成度并实现尺寸微小型化，解决引信系统的电磁干扰，提高电磁兼容性。具有以下优点：(1)结构尺寸微小；(2)电磁兼容性强。(3)抗过载能力强。
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公开(公告)号：CN117233896A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210640164.5
申请日：2022-06-08
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： G02B6/35
摘要： 本发明公开的一种基于金属铂驱动的光开关装置，主要由输入光纤、输出光纤、可动微镜、电热保险机构、电热驱动器等结构组成。输入光纤和输出光纤分别与光发射管和光敏器件连接，固定光纤和可动微镜组成反射型光回路。电热保险机构作为一道保险，用于实现对可动微镜的安全、解保以及运动到位后的定位。电热驱动器用于解保后驱动可动微镜运动到位，实现光路通断状态的转换。可动微镜通过四根弹簧梁与光开关基体相连。要解决的技术问题为：解决弹药引信驱动系统在低电压环境中的安全性与可靠性问题，满足弹药引信微小型化、通用化和高可靠性的军事需求。具有以下优点：(1)结构尺寸小；(2)作用可靠；(3)制造成本低；(4)功率损耗小；(5)应用范围广。
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公开(公告)号：CN112735936A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202110005187.4
申请日：2021-01-04
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明涉及一种电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀的微镜侧壁加工方法。包括以下步骤：首先，利用电感耦合等离子体(ICP)技术对光开关加工，得到光开关样品；然后，利用聚焦离子束(FIB)技术对样品侧壁反射镜镜面二次刻蚀加工，具体有以下步骤：样品固定步骤，在聚焦离子束和电子束的双束系统中，将待加工样品固定在样品台上；加工参数选择步骤，选择合适的待加工区域和摸底实验区域，然后对摸底实验区域模拟加工，确定合适的加工参数；加工步骤，利用聚焦离子束对反射镜镜面刻蚀。基于电感耦合等离子体技术和聚焦离子束技术相结合的加工方法可以有效改善镜面的粗糙度，提高光路的传输效率。
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公开(公告)号：CN117469319A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202210875606.4
申请日：2022-07-22
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： F16D57/02
摘要： 本发明公开了一种新型旋转式抗沉降磁流变制动器，主要由基座、上端盖、旋转轴、轴套、励磁线圈、内筒、密封圈等组成。通过电机等动力装置带动旋转轴和轴套转，电源通过励磁线圈产生磁场，磁流变液在带有螺旋面的轴套的作用下在内筒间隙中进行主动分散，并在磁场作用下发生磁流变效应，使得磁流变液的剪切应力增加，产生较大的制动力矩。该发明通过轴套上的螺旋面对磁流变液内部的沉降磁性颗粒进行主动分散，达到抗沉降的目的。同时，可在磁流变液用量不变的情况下，通过增大螺旋面接触面积来增加制动力矩。该制动器结构简单紧凑，便于拆装维修，特别适用于半主动控制场合以及转动场合的减震抗震。
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公开(公告)号：CN116697835A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310848316.5
申请日：2023-07-12
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： F42C15/00
摘要： 本发明公开的一种具有隔光和隔爆双功能的MOEMS保险装置，主要由电热保险机构、硅基板、隔爆滑块、后坐保险机构、输入光纤、输出光纤组成。输入光纤和输出光纤两端分别与光发射管和光敏器件连接，并和隔爆滑块上的微镜面组成反射型光开关。利用后坐保险机构解除隔爆滑块的第一道保险，电热保险机构作为第二道保险，用于实现对隔爆滑块的安全与解除保险作用。利用离心力推动隔爆滑块上的微镜面运动到位，实现光开关通断状态的转换。本发明要解决的技术问题为：解决引信安全系统中因点火药感度过高，在外界能量干扰下易发生误炸的问题，满足弹药引信安全可靠的军事需求。具有以下优点：(1)结构尺寸小；(2)作用可靠；(3)应用范围广。
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公开(公告)号：CN113916073A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111369640.6
申请日：2021-11-16
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： F42C15/40
摘要： 本发明公开一种具有解保与驱动双功能的形状记忆合金MEMS安全系统，主要由后坐保险机构、隔爆滑块和形状记忆合金执行器组成，隔爆滑块上设计有后坐保险机构保险槽、形状记忆合金执行器保险槽、定位槽和驱动槽，形状记忆合金执行器分为保险机构和驱动机构。利用后坐保险机构卡入保险槽实现对隔爆滑块的第一道保险，利用形状记忆合金保险机构卡入保险槽实现对隔爆滑块的第二道保险，利用形状记忆合金驱动机构推动隔爆滑块运动到位。本发明要解决的技术问题为：实现小口径弹药微小型化和远距离安全解除保险的目标，具有以下优点：(1)结构尺寸小；(2)抗过载能力强；(4)低成本；(5)原理简单、作用速度快；(6)稳定性好，工作可靠。
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