公开(公告)号：CN113561054A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202110858358.8

申请日：2021-07-28

Applicant: 北京烁科精微电子装备有限公司

Inventor： 刘福强 ,  李伟 ,  杨宽 ,  史霄

IPC: B24B37/34 ,  B24B53/017 ,  B24B53/12 ,  B24B49/00 ,  B24B47/00 ,  B24B55/00 ,  F15B19/00

Abstract: 本发明提供的一种抛光垫修整装置及抛光设备，属于抛光垫修整技术领域，抛光垫修整装置包括：支座；摆臂，一端与支座转动连接；修整组件，设置在摆臂的远离所述支座的一端；所述修整组件具有修整头；所述修整头通过支撑座设置所述摆臂的一侧；所述修整头相对于所述摆臂做上下移动运动和旋转运动；厚度检测组件，设置在修整组件上；所述厚度检测组件具有接触式测距传感器；本发明的抛光垫修整装置，设置有厚度检测组件，当修整头在下降的过程中，带动接触式测距传感器进行移动，通过接触式测距传感器感知到达固定位置的距离，进而推测出抛光垫的厚度，进而知道抛光垫的真实磨损情况，确定抛光垫的更换时间，保证抛光垫的使用寿命最长。

公开(公告)号：CN113458972A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202110858363.9

申请日：2021-07-28

Applicant: 北京烁科精微电子装备有限公司

Inventor： 刘福强 ,  李伟 ,  史霄 ,  杨宽 ,  舒福璋

IPC: B24B53/12

Abstract: 本发明提供的一种抛光垫修整装置及抛光设备，属于抛光垫修整技术领域，抛光垫修整装置包括：支座；摆臂，一端与支座转动连接；修整组件，设置在摆臂的远离所述支座的一端；所述修整组件具有修整头；所述修整头通过支撑座设置所述摆臂的一侧；所述修整头相对于所述摆臂做上下移动运动和旋转运动；厚度检测组件，设置在修整组件上；所述厚度检测组件具有接触式测距传感器；本发明的抛光垫修整装置，当修整头在下降的过程中，带动接触式测距传感器进行移动，通过接触式测距传感器感知到达固定位置的距离，进而推测出抛光垫的厚度，进而知道抛光垫的真实磨损情况，确定抛光垫的更换时间，保证抛光垫的使用寿命最长。