一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法

    公开(公告)号:CN116536727A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202310543137.0

    申请日:2023-05-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法,包括:制作有Ti图案的芯片、惰性阴极、直流电源和电解液;芯片与惰性阴极置于电解液内,芯片连接在直流电源的正极上,惰性阴极连接在直流电源的负极上;开启直流电源,将Ti氧化成TiO2,完成加载条型光波导的制备。本发明基于阳极氧化法制备的TiO2加载条具有效果好、速度快、成本低等优点。

    一种直喷式薄膜铌酸锂脊波导侧壁的抛光方法

    公开(公告)号:CN115716245A

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202211481164.1

    申请日:2022-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种直喷式薄膜铌酸锂脊波导侧壁的抛光方法,用于解决薄膜铌酸锂脊波导侧壁倾角不陡直,抛光难,散射损耗大,磨料无法回收的问题。该系统包括旋转台、喷嘴、送料管、增压泵、磨料槽和磨料液。将磨料液采用直喷式的方法喷射到芯片脊波导的侧壁,旋转台可以灵活调整喷射角度以达到对侧壁陡直度的修正,磨料粉及抛光液直接喷射更容易进入到微纳缝隙结构中完成抛光提高侧壁光滑程度,减少了脊波导侧壁的散射损耗,磨料顺着旋转台回流到磨料槽中,并利用循环系统进行回收,可做到循环利用,解决了目前磨料只能一次使用造成的浪费。该方法也可以应用到具有同样微纳结构的其他脊波导或者加载条波导上。

    一种基于铌酸锂薄膜波导的高耦合效率分段均匀光栅耦合器

    公开(公告)号:CN113534342B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202110691342.2

    申请日:2021-06-22

    Abstract: 本发明涉及集成光学领域和半导体领域,具体是一种基于铌酸锂薄膜平台的高耦合效率分段均匀光栅耦合器。该光栅耦合器包括:绝缘铌酸锂薄膜上的光子芯片以及设置于其上方的光纤。绝缘铌酸锂薄膜上的光子芯片自上而下依次包括:分段均匀波导耦合光栅、铌酸锂薄膜层、SiO2埋氧层、Au反射层以及LN衬底。本发明中采用几段周期和占空比相异的均匀光栅拼接,可以通过逐段设计各段均匀光栅,其设计和仿真、工艺制备难度相对小;该分段均匀光栅耦合结构,优化了向上衍射场和光纤的模式匹配,提升了通光带宽,从而达到宽光谱输入波导的高效耦合;此外,本发明通过增添Au反射层,可以极大地减少光功率向衬底的泄露损失,进一步提高光耦合效率。

    一种物流状态实时监控装置

    公开(公告)号:CN108280951B

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN201711421806.8

    申请日:2017-12-25

    Abstract: 本发明涉及物流技术领域,公开了一种物流状态实时监控装置,其包括壳体、控制单元、激光发射单元、激光接收单元、激光传输光纤、报警单元和用于封装包装箱的胶带,控制单元、激光发射单元和激光接收单元位于壳体内;激光发射单元与激光传输光纤的输入端连接,激光接收单元与激光传输光纤的输出端连接,激光传输光纤与胶带连接,当将胶带粘贴在包装箱的封缄处时,至少部分激光传输光纤与封缄的长度方向相交;控制单元分别与激光发射单元、激光接收单元和报警单元连接,控制单元内置有电子身份标识。对物流运输中物品的实时位置及包装状态进行监测,对当前物流运输产品的安全及质量管理有积极的影响。

    一种基于铌酸锂薄膜的偏振滤波型强度调制器

    公开(公告)号:CN115016154A

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202210401293.9

    申请日:2022-04-15

    Abstract: 本发明涉及一种基于铌酸锂薄膜的偏振滤波型强度调制器,调制器集成在同一芯片上,具有滤波和强度调制的功能。包括光波导、强度控制中心电极和强度控制地电极。光波导由光波导层制成,本发明对光波导层进行了改进,改进之处在于在光波导层中的铌酸锂层上面采用沉积氮化硅形成氮化硅加载条层;光波导从功能结构上划分为Y波导分束器和Y分支合束器,Y波导分束器前端直波导上增加滤波金属银覆层构成具有偏振滤波功能的光波导,经过滤波后的光波由Y波导分束器等分为平行两路波导,强度控制中心电极置于平行两路波导之间,平行两路波导外侧各设置一个强度控制地电极,强度控制中心电极和强度控制地电极构成幅度控制器电极,用于强度调制;两路光经过强度调制后,由Y分支合束器进行合束输出。

    一种基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器

    公开(公告)号:CN114740642A

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202210401224.8

    申请日:2022-04-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器,可应用于光通信、光计算、微波光子技术等,属于集成光学领域。本发明器件结构主要是铌酸锂薄膜(LNOI)上沉积氮化硅构成加载条型直波导、直波导上前端做金属银覆层构成具有偏振滤波功能的波导结构,以及在波导后端两侧设置相位控制电极结构。本发明的结构设计可同时实现偏振滤波和相位调制,使整个结构更为紧凑、高效,更有利于实现光路集成。

    一种与单模光纤直接耦合的LNOI基模斑转换器

    公开(公告)号:CN113640913B

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202110695762.8

    申请日:2021-06-22

    Abstract: 本发明公开了一种与单模光纤直接耦合的LNOI基模斑转换器及方法,涉及集成光学领域,用于解决光纤与LNOI芯片间的高效耦合问题。本发明结构自下而上由衬底、缓冲层和波导层三部分组成,其中波导层沿光场传输方向可分为两部分,第一部分为由低折射率波导制成的双层正向锥形区,用于输入光场与反向锥形区之间的模场变换,第二部分为由顶层铌酸锂刻蚀而成的反向锥形区,用于与LNOI芯片波导最终的模场变换。本发明双层正向锥形区的设计,不仅起到反向锥形区与外界输入光场的过渡作用,可实现与更大输入模场间的耦合,进一步提升了转换效率,还使整个结构更为紧凑、高效,更有利于实现大规模光路集成。

    一种提高电光调制器带宽的电极结构

    公开(公告)号:CN110297338A

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201910570770.2

    申请日:2019-06-28

    Abstract: 本发明涉及一种提高电光调制器带宽的电极结构,属于铌酸锂电光调制技术领域。为了解决电光调制器的相速失配问题,本发明在调制器芯片行波电极底部设计了一个镂空结构,可以不填充材料,也可以填充二氧化硅等低介电常数材料,经过计算能够有效降低微波等效折射率,大幅增大电光调制器的器件带宽,为提高铌酸锂电光调制器带宽提供了新的方法。

    一种基于马赫增德尔干涉结构的1×4铌酸锂波导光开关

    公开(公告)号:CN110286540A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201910551839.7

    申请日:2019-06-25

    Abstract: 本发明公开了一种基于马赫增德尔干涉结构的1×4铌酸锂波导光开关,可应用于光通信、光互连、光计算等,属于光电子技术领域。本发明有一个光波输入端口,四个光波输出端口。本发明由两级3个1×2的MZI结构的开关单元阵列组合而成。在第一级光开关单元中有一个1×2的MZI,光经过Y型波导分束器分别进入上下两个干涉臂,随后通过2×2的定向耦合器干涉输出。第二级并行的两个MZI光开关单元中Y型波导分束器的输入端分别与第一级定向耦合器的两个输出端口平行连接。MZI中当干涉臂相位差达到π/2时,可以实现光路在两个输出端口间的切换,对于两级MZI而言,便可以实现四路选通的功能,为制作大规模光开关阵列提供了更大的灵活性。

    脉冲激光测距仪
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109799512A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201910011640.5

    申请日:2019-01-07

    Abstract: 本发明实施例提供一种脉冲激光测距仪,包括:数字信号处理器;数字信号处理器包括相关算法单元和逻辑处理单元;相关算法单元用于对回波脉冲串信号与发射脉冲串信号进行互相关处理,以提高回波脉冲串信号的信噪比,获得回波脉冲串信号与发射脉冲串信号之间的第一延时时长;其中,发射脉冲串信号与向被测目标发射的激光相对应,回波脉冲串信号与被测目标反射回的激光相对应;逻辑处理单元用于根据第一延时时长计算获得被测目标的第一距离。本发明提供采用两套测距的计算方法,使得远距离的测距在保证精准的的情况下成为可能,另外,首次在便携式远距离测距系统中采用VCSEL,发射激光的发散角被压缩到毫弧度量级,减轻发射系统结构的复杂性。

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