极间厚缓冲层调制器芯片结构

    公开(公告)号:CN110275328A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910570780.6

    申请日:2019-06-28

    Abstract: 本发明涉及极间厚缓冲层调制器芯片结构,属于铌酸锂电光调制技术领域。为了实现更低的调制器件功耗,需要得到较低调制半波电压,本发明在调制器芯片行波电极间的缓冲层处进行了加厚处理,能有效增大电光重叠积分,降低器件半波电压。为铌酸锂强度调制器的功耗降低提供了有效方法。

    一种提高电光调制器带宽的电极结构

    公开(公告)号:CN110297338A

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201910570770.2

    申请日:2019-06-28

    Abstract: 本发明涉及一种提高电光调制器带宽的电极结构,属于铌酸锂电光调制技术领域。为了解决电光调制器的相速失配问题,本发明在调制器芯片行波电极底部设计了一个镂空结构,可以不填充材料,也可以填充二氧化硅等低介电常数材料,经过计算能够有效降低微波等效折射率,大幅增大电光调制器的器件带宽,为提高铌酸锂电光调制器带宽提供了新的方法。

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