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公开(公告)号:CN110923650B
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN201911228670.8
申请日:2019-12-04
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开一种DLC涂层及其制备方法。本发明中,在高能脉冲偏压下,实现了沉积与注入结合的涂层生长方法,从而实现了涂层应力的控制。采用该方法制备DLC涂层,大幅降低了DLC涂层的应力,极大提升了DLC涂层的结合力。
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公开(公告)号:CN110846624A
公开(公告)日:2020-02-28
申请号:CN201911081661.0
申请日:2019-11-07
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种新型阳极层离子源,包括位于轴心位置的内阴极,环绕在所述内阴极外侧的外阴极,所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道;均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体;位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极的阳极环,开设在所述阳极环内的通气孔,开设在所述阳极环上且连通所述通气孔的通气狭缝,所述通气狭缝朝向所述离子束流通道。通过改变离子源的通气方式,减少工作气体与阳极接触,从而降低工作气体对阳极造成污染和附着物吹出造成对沉积涂层的污染。
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公开(公告)号:CN110685000B
公开(公告)日:2021-12-14
申请号:CN201911095364.1
申请日:2019-11-11
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种高耐蚀涂层和制备方法、电解液及其应用。所述电解液包括终浓度为5‑50g/L的磷酸盐、5‑30g/L的含锌化合物和1‑15g/L的络合剂,溶剂为水。本发明电解液将磷酸盐、含锌化合物及络合剂溶解于水中,满足了微弧氧化的使用需要。同时通过将自修复、磷化等特性与微弧氧化进行结合,使得采用本发明的电解液进行微弧氧化获得的涂层具有更好的致密度和自修复能力,进而提高了被处理工件的耐腐蚀性能。
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公开(公告)号:CN110923650A
公开(公告)日:2020-03-27
申请号:CN201911228670.8
申请日:2019-12-04
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开一种DLC涂层及其制备方法。本发明中,在高能脉冲偏压下,实现了沉积与注入结合的涂层生长方法,从而实现了涂层应力的控制。采用该方法制备DLC涂层,大幅降低了DLC涂层的应力,极大提升了DLC涂层的结合力。
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公开(公告)号:CN110846624B
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN201911081661.0
申请日:2019-11-07
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种新型阳极层离子源,包括位于轴心位置的内阴极,环绕在所述内阴极外侧的外阴极,所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道;均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体;位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极的阳极环,开设在所述阳极环内的通气孔,开设在所述阳极环上且连通所述通气孔的通气狭缝,所述通气狭缝朝向所述离子束流通道。通过改变离子源的通气方式,减少工作气体与阳极接触,从而降低工作气体对阳极造成污染和附着物吹出造成对沉积涂层的污染。
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公开(公告)号:CN110685000A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201911095364.1
申请日:2019-11-11
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种高耐蚀涂层和制备方法、电解液及其应用。所述电解液包括终浓度为5-50g/L的磷酸盐、5-30g/L的含锌化合物和1-15g/L的络合剂,溶剂为水。本发明电解液将磷酸盐、含锌化合物及络合剂溶解于水中,满足了微弧氧化的使用需要。同时通过将自修复、磷化等特性与微弧氧化进行结合,使得采用本发明的电解液进行微弧氧化获得的涂层具有更好的致密度和自修复能力,进而提高了被处理工件的耐腐蚀性能。
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