公开(公告)号：CN119433486A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202411606062.7

申请日：2024-11-12

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 王琦 ,  王忠强 ,  梁智文 ,  林良维 ,  姜永京 ,  陈垦宇 ,  陈德容 ,  刘强 ,  王新强

IPC: C23C16/02 ,  C23C16/27 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明公开一种金刚石薄膜及其制备方法和可重复利用的衬底材料，金刚石薄膜的制备方法包括：选取表面光滑的异质衬底，对异质衬底进行预处理；在异质衬底上生长所需厚度的金刚石薄膜，在金刚石薄膜的形核成膜阶段，工艺气体中通入适量的氮气；通过物理方法将金刚石薄膜从异质衬底上剥离，得到金刚石薄膜和衬底材料；将衬底材料进行表面处理，形成表面光滑的异质衬底，重复使用。本发明金刚石薄膜的制备方法既可以保持金刚石薄膜完整无裂纹，又可以通过简单的物理方法将金刚石薄膜从衬底材料上剥离，获得完整的金刚石薄膜和衬底材料，衬底材料经过简单的清洁、抛光等处理方法后即可重复使用，节约了金刚石薄膜制造过程中的材料成本。

公开(公告)号：CN119601521A

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202411887985.4

申请日：2024-12-19

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 王忠强 ,  王琦 ,  梁智文 ,  林良维 ,  姜永京 ,  陈垦宇 ,  陈德容 ,  刘强 ,  王新强

IPC: H01L21/683 ,  H01L23/373 ,  H01L21/04 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明涉及半导体器件技术领域，公开了一种金刚石薄膜的转移方法，包括：在表面光滑的异质衬底上生长金刚石薄膜；利用粘接剂在所述金刚石薄膜的表面粘接临时载体；掀开所述临时载体，以使所述金刚石薄膜跟随所述临时载体脱离所述异质衬底，完成金刚石薄膜的一次转移。本发明采用临时载体与金刚石通过粘接剂粘接，能够精准且完整地将大面积超薄金刚石薄膜从异质衬底上转移出来，从而适用于大面积超薄金刚石薄膜的转移。

公开(公告)号：CN119589189A

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202411875542.3

申请日：2024-12-18

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 王琦 ,  王忠强 ,  梁智文 ,  林良维 ,  姜永京 ,  陈垦宇 ,  陈德容 ,  刘强 ,  王新强

IPC: B23K31/02 ,  C23C16/01 ,  C23C16/27 ,  B23K26/38

Abstract: 本发明公开了一种金刚石薄膜复合导热片及其制备方法，制备方法包括：选取金刚石薄膜，金刚石薄膜具有预定的厚度；对金刚石薄膜进行表面平整处理；在金刚石薄膜表面镀一层金属或者涂敷一层含有金属活性成分的焊料，在金属镀层或者焊料上表面贴放金属材质片，将金属材质片与金刚石薄膜的金属镀层金金键合在一起，或者将金属材质片与金刚石薄膜用焊料加热焊接在一起；利用与金刚石薄膜结合在一起的金属材质片将金刚石薄膜从异质衬底上剥离下来，形成金刚石薄膜复合导热片。本发明既保持金刚石薄膜完整无裂纹，又能一次性将金刚石薄膜从衬底上完整剥离下来，且将金刚石薄膜的光滑度高的一面暴露出来，兼容下一步的贴合工艺等工业应用。