公开(公告)号：CN106367804A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201610963655.8

申请日：2016-10-28

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 李成明 ,  巫永鹏 ,  王琦 ,  陈蛟 ,  胡耀华 ,  徐永钊 ,  郑小平 ,  卢洪 ,  李顺峰 ,  张国义

IPC: C30B25/08 ,  C30B25/16 ,  C30B29/40

CPC classification number: C30B29/406 ,  C30B25/08 ,  C30B25/16

Abstract: 本发明公开了一种压强调控晶体生长反应釜，包括釜体，釜体内设有晶体生长室，釜体外设有加热装置，釜体内填充有液体镓源，所述釜体内还设有压强调节室，晶体生长室底面设有隔板，该隔板上设有连接孔，该晶体生长室通过连接孔与压强调节室连通，压强调节室上设有增压阀和减压阀，隔板上设有朝向晶体生长室凸出的衔接管口，连接孔设置在该衔接管口侧壁。本发明通过细微调整两个晶体生长室和压强调节室之间压强的差异，可以有效地实现反应釜内液体镓源的可控流动。

公开(公告)号：CN106367804B

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201610963655.8

申请日：2016-10-28

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 李成明 ,  巫永鹏 ,  王琦 ,  陈蛟 ,  胡耀华 ,  徐永钊 ,  郑小平 ,  卢洪 ,  李顺峰 ,  张国义

IPC: C30B25/08 ,  C30B25/16 ,  C30B29/40

Abstract: 本发明公开了一种压强调控晶体生长反应釜，包括釜体，釜体内设有晶体生长室，釜体外设有加热装置，釜体内填充有液体镓源，所述釜体内还设有压强调节室，晶体生长室底面设有隔板，该隔板上设有连接孔，该晶体生长室通过连接孔与压强调节室连通，压强调节室上设有增压阀和减压阀，隔板上设有朝向晶体生长室凸出的衔接管口，连接孔设置在该衔接管口侧壁。本发明通过细微调整两个晶体生长室和压强调节室之间压强的差异，可以有效地实现反应釜内液体镓源的可控流动。