公开(公告)号：CN106498499A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201610966496.7

申请日：2016-10-28

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 李成明 ,  王琦 ,  胡耀华 ,  巫永鹏 ,  陈蛟 ,  张耿 ,  郑小平 ,  卢洪 ,  李顺峰 ,  张国义

IPC: C30B29/40 ,  C30B30/02 ,  C30B7/14

CPC classification number: C30B29/406 ,  C30B7/14 ,  C30B30/02

Abstract: 本发明公开了一种电辅助的氮化物晶体生长装置和方法，包括反应釜和设置在该反应釜内的坩埚，坩埚内填充有反应物溶液，坩埚内底面放置有被反应物溶液浸没的晶种模板，反应釜上设有氮气进口和排气口，还包括电装置，该电装置包括电压源、上电极和下电极，上电极和下电极分别通过导线与电压源连接，上电极延伸至坩埚内且位于反应物溶液的液面上方，下电极设在反应物溶液内。本发明提高了氮化镓单晶晶体质量及生长速率。

公开(公告)号：CN106498499B

公开(公告)日：2019-02-19

申请号：CN201610966496.7

申请日：2016-10-28

Applicant: 北京大学东莞光电研究院

Inventor： 李成明 ,  王琦 ,  胡耀华 ,  巫永鹏 ,  陈蛟 ,  张耿 ,  郑小平 ,  卢洪 ,  李顺峰 ,  张国义

IPC: C30B29/40 ,  C30B30/02 ,  C30B7/14

Abstract: 本发明公开了一种电辅助的氮化物晶体生长装置和方法，包括反应釜和设置在该反应釜内的坩埚，坩埚内填充有反应物溶液，坩埚内底面放置有被反应物溶液浸没的晶种模板，反应釜上设有氮气进口和排气口，还包括电装置，该电装置包括电压源、上电极和下电极，上电极和下电极分别通过导线与电压源连接，上电极延伸至坩埚内且位于反应物溶液的液面上方，下电极设在反应物溶液内。本发明提高了氮化镓单晶晶体质量及生长速率。