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公开(公告)号：CN114908338B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202110171463.4
申请日：2021-02-07
Applicant: 北京大学
IPC: C23C16/54 , C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52 , C23C16/26 , C23C14/26 , C23C14/16 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种用于在超薄自支撑薄膜上沉积碳纳米管的化学气相沉积装置，主要包括前级加热区、中央反应区和沉积区，在中央反应区和沉积区之间设置冷却系统，用来降低来自中央反应区的载热气体的温度，使得沉积区的温度低于薄膜材料的熔点。本发明还公开了使用该化学气相沉积装置制备复合靶材的方法，利用水冷组件直接降低来自中央反应区的热辐射，和外置水循环系统通过热交换降低反应气流的温度，成功制备出碳纳米管泡沫与超薄金属膜或高分子膜的复合靶材。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114624959A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202011453395.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种高效率极紫外辐射产生方法，通过激光打固体靶产生极紫外辐射，对激光进行聚焦，聚焦后的激光作用在靶材上，聚焦前的激光源为飞秒激光源；靶材为满足平均密度介于常规固体和常规气体之间、微米尺寸下分布均匀、边界陡峭特点的材质，本发明还公开了一种高效率极紫外辐射产生系统，包括激光源(1)和靶(2)，在激光源(1)与靶(2)之间还设置有离轴抛物面镜聚焦装置(4)，在激光源(1)与离轴抛物面镜聚焦装置(4)之间设置有等离子体镜装置(5)。根据本发明所述的高效率极紫外辐射产生方法及装置，具有产生极紫外辐射效率高、谱带宽、光谱可调等诸多优点。
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公开(公告)号：CN114057184A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202010763009.3
申请日：2020-07-31
Applicant: 北京大学
IPC: C01B32/162 , C01B32/168 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种自支撑碳纳米管薄膜和自支撑碳纳米管薄膜靶，其制备方法和密度调控方法，以及所相应采用的制备装置。本发明提供的装置和/或方法通过浮动催化化学气相沉积法制得微观均匀的低密度碳管薄膜，之后用高精度压膜机对其进行压缩、转移得到自支撑的指定密度的薄膜靶，实现了靶孔处的自支撑和大范围的指定密度调控，可用于激光打靶实验或应用。
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公开(公告)号：CN114057184B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202010763009.3
申请日：2020-07-31
Applicant: 北京大学
IPC: C01B32/162 , C01B32/168 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种自支撑碳纳米管薄膜和自支撑碳纳米管薄膜靶，其制备方法和密度调控方法，以及所相应采用的制备装置。本发明提供的装置和/或方法通过浮动催化化学气相沉积法制得微观均匀的低密度碳管薄膜，之后用高精度压膜机对其进行压缩、转移得到自支撑的指定密度的薄膜靶，实现了靶孔处的自支撑和大范围的指定密度调控，可用于激光打靶实验或应用。
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公开(公告)号：CN108901118A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810725141.8
申请日：2018-07-04
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种激光离子加速器中透明靶体定位系统及其定位方法。本发明采用照明光、参照物和成像系统，先将透明靶体粗定位至理想成像平面附近，然后移出参照物，通过透明靶体上相位物的图像将透明靶体精确定位在理想成像平面，最后再利用激光将超高斯光束的束腰移动到透明靶体上，即实现了束靶耦合；本发明采用散焦的方法，使透明靶体成为相位可见的对象；本发明光路简单并能够高效实现精准定位，有助于更好地开展激光打靶实验。
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公开(公告)号：CN114908338A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202110171463.4
申请日：2021-02-07
Applicant: 北京大学
IPC: C23C16/54 , C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52 , C23C16/26 , C23C14/26 , C23C14/16 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种用于在超薄自支撑薄膜上沉积碳纳米管的化学气相沉积装置，主要包括前级加热区、中央反应区和沉积区，在中央反应区和沉积区之间设置冷却系统，用来降低来自中央反应区的载热气体的温度，使得沉积区的温度低于薄膜材料的熔点。本发明还公开了使用该化学气相沉积装置制备复合靶材的方法，利用水冷组件直接降低来自中央反应区的热辐射，和外置水循环系统通过热交换降低反应气流的温度，成功制备出碳纳米管泡沫与超薄金属膜或高分子膜的复合靶材。
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