公开(公告)号：CN107204301B

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201710320896.5

申请日：2017-05-09

Applicant: 北京大学

Inventor： 杜娟 ,  张玺 ,  欧伟

IPC: H01L21/66 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公布了一种太阳能电池生产过程变化的检测方法，针对多通道传感器温度信号，基于温度曲线长度，通过特征提取与变化检测获得太阳能电池生产过程中的变化；包括：根据工艺曲线对双通道温度数据进行分段，得到有光伏材料层生长的温度曲线段；提取温度曲线段的长度特征；根据曲线长度特征进行变点检测，得到显著的温度变化点，进一步预测温度显著变化点处太阳能电池的光电转化效率变化的方向。本发明方法可以有效地在外延阶段提前发现过程变化，使工厂可以提前做出相应的补救措施，以避免不必要的浪费。

公开(公告)号：CN107204301A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201710320896.5

申请日：2017-05-09

Applicant: 北京大学

Inventor： 杜娟 ,  张玺 ,  欧伟

IPC: H01L21/66 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L22/12 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公布了一种太阳能电池生产过程变化的检测方法，针对多通道传感器温度信号，基于温度曲线长度，通过特征提取与变化检测获得太阳能电池生产过程中的变化；包括：根据工艺曲线对双通道温度数据进行分段，得到有光伏材料层生长的温度曲线段；提取温度曲线段的长度特征；根据曲线长度特征进行变点检测，得到显著的温度变化点，进一步预测温度显著变化点处太阳能电池的光电转化效率变化的方向。本发明方法可以有效地在外延阶段提前发现过程变化，使工厂可以提前做出相应的补救措施，以避免不必要的浪费。