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发明公开
一种激光数字散斑干涉仪在线检测精度判定方法及装置审中-实审

公开(公告)号：CN118347421A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202410359468.3

申请日：2024-03-27

Applicant: 北京卫星制造厂有限公司

Inventor： 周勇 , 刘丽霞 , 钟俊杰 , 薛文娟 , 牛海瑞 , 唐嘉瑞 , 李熙亮

IPC: G01B11/16 , G01B9/02055

Abstract: 本发明一种激光数字散斑干涉仪在线检测精度判定方法及装置，包括以下步骤：制做微变形发生装置；创建上述微变形发生装置的运动参数表；启动激光数字散斑干涉仪开始工作；读取试验环境温度t，从微变形发生装置运动参数表中查询温度为t，产生n倍波长的变形量时的电压信号量v。激光数字散斑干涉仪重采基准图，启动微变形发生装置，输入电压信号量v，使微变形发生装置面板出现微变形。用激光数字散斑干涉仪实时测量上述微变形发生装置，记录激光数字散斑干涉仪上散斑差图中的条纹数，记为m条。当|m‑n| ＝1时，激光数字散斑干涉仪在线检测精度异常时，试验环境出现故障，中断试验。

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