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公开(公告)号:CN115809576B
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202211445585.9
申请日:2022-11-18
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G06F30/23 , G06T17/00 , G06F115/04 , G06F111/10 , G06F119/14 , G06F119/08 , G06F119/18
Abstract: 本发明公开了硅基MEMS工艺与多物理场耦合的器件性能评估方法,该方法包括:对具有硅基MEMS基底的器件进行制造工艺仿真,获得工艺仿真模型;对工艺仿真模型进行结构设计拓扑,获得拓扑重构后的三维模型;基于拓扑重构后的三维模型,建立工艺及设计耦合模型,并基于耦合物理环境确定耦合时的物理场;进行多物理场数值仿真计算;基于仿真计算结果进行器件性能评估。本发明解决了MEMS制造工艺和几何构型的耦合问题,创新性的数值算法及结构耦合,可以进行MEMS器件结构及制造工艺的优化,大大节省MEMS器件研发成本和周期。
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公开(公告)号:CN115809576A
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202211445585.9
申请日:2022-11-18
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G06F30/23 , G06T17/00 , G06F115/04 , G06F111/10 , G06F119/14 , G06F119/08 , G06F119/18
Abstract: 本发明公开了硅基MEMS工艺与多物理场耦合的器件性能评估方法,该方法包括:对具有硅基MEMS基底的器件进行制造工艺仿真,获得工艺仿真模型;对工艺仿真模型进行结构设计拓扑,获得拓扑重构后的三维模型;基于拓扑重构后的三维模型,建立工艺及设计耦合模型,并基于耦合物理环境确定耦合时的物理场;进行多物理场数值仿真计算;基于仿真计算结果进行器件性能评估。本发明解决了MEMS制造工艺和几何构型的耦合问题,创新性的数值算法及结构耦合,可以进行MEMS器件结构及制造工艺的优化,大大节省MEMS器件研发成本和周期。
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公开(公告)号:CN106500631A
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201610917541.X
申请日:2016-10-21
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01B11/26
CPC classification number: G01B11/26
Abstract: 本发明提供了一种圆光栅偏心误差参数辨识及补偿方法,所述方法包括如下步骤:1)使用圆光栅编码器的设备,在安装读数头A的位置旁,安装一个辅助读数头B,辅助读数头B的位置可任意安装;2)转动圆光栅安装轴,观察读数头A的值,每隔5°记录下读数头A和B的值,直至旋转一周共得到72组数据。利用得到的72组数据,根据以下两个公式:θ′B-θ′A=α+arcsin(a*sin(w+θ′A))-arcsin(a*sin(w+θB′));θ′B-θ′A=α-2π+arcsin(a*sin(w+θ′A))-arcsin(a*sin(w+θB′))其中,θA′和θB′表示圆光栅读数头A和B的读数,α为两个读数头相对于旋转中心O的夹角,a,w,α为圆光栅的偏心参数;使用L-M算法求解出圆光栅的偏心参数a,w,α;3)使用圆光栅测量角度时,将得到偏心参数带入公式:θA=θ′A-l-β,完成对读数头A的偏心误差补偿;其中l=arcsin(a*sin(w)),β=arcsin(a*sin(-w-θA′))。
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公开(公告)号:CN105680368A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610146375.8
申请日:2016-03-15
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: H02G1/02
CPC classification number: H02G1/02
Abstract: 本发明提供了一种无限续航高压巡线飞行器,包括:支架、旋翼和主控制器,所述主控制器包括CPU、线路识别模块、数据采集模块、故障鉴定模块、无限续航模块;所述线路识别模块内置有摄像头,通过摄像头采集高压线图像;所述数据采集模块包括超声测距模块和红外测温模块,用来对高压线附近的温度进行采集;所述无限续航模块采用磁耦合共振技术,实现电能无线传输;所述线路识别模块、数据采集模块、故障鉴定模块、无限续航模块将采集到的信息传输给所述CPU,所述CPU判断出所需工作指令,并把工作指令发送到上述模块。
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公开(公告)号:CN104655063A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201310586914.6
申请日:2013-11-20
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01B21/00
CPC classification number: G01B21/00
Abstract: 一种关节式坐标测量机的高精度标定方法,所述标定方法包括如下步骤:测量机对每个标定板上的多对锥孔以不同姿态各采集多次,每个姿态对应得到一组关节角度和一个测头坐标,如此获得多组关节角度向量与测头坐标;计算各个标定板上的每对锥孔之间的多组两点点距数值;得到每个测点x、y、z坐标的标准差公式;将每个测点的标准差求和;将各个标定板在测点i处的两点点距值Li与点距真值Lr相减,求标准差并求和;最终将δxyz与δL相加作为二次非线性规划问题的目标函数,利用序列二次规划算法即可求出关节式坐标测量机的结构参数误差值。
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公开(公告)号:CN103389573B
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201310329612.0
申请日:2013-07-31
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G02B21/06
Abstract: 基于径向偏振涡旋光束的超分辨受激发射损耗显微成像方法,包括如下步骤:对激发光束进行准直,获得第一平行光束;将所述第一平行光束转换为第一径向偏振光;调制所述第一径向偏振光并将其聚焦在焦平面的样品上,得到聚焦实心光斑;对抑制光束进行准直,获得第二平行光束;将第二平行光束转换为第二径向偏振光;将所述第二径向偏振光束转换为径向偏振涡旋光束;调制所述径向偏振涡旋光束并将其聚焦在所述焦平面的样品上,得到聚焦中空光斑,该聚焦中空光斑与上述聚焦实心光斑中心重叠,使得只有中间位置处、尺寸小于衍射极限的中间点发出荧光;通过探测器探测上述中间点所发出的荧光。
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公开(公告)号:CN102904512B
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201210422712.3
申请日:2012-10-30
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明涉及一种步进电机的控制系统及控制方法,其中系统包括:控制器,用于产生对两相混合式步进电机进行控制的控制指令;数字信号处理模块,与所述控制器相连接,用于接收所述控制指令,将所述控制指令转化为所述两相混合式步进电机的运行参数,由所述运行参数控制产生的脉冲信号符合指数型加减速曲线;电机驱动模块,与所述数字信号处理模块相连接,用于将所述脉冲信号进行功率放大,根据放大后的所述脉冲信号驱动所述两相混合式步进电机以所述旋转方向、旋转圈数、最大速度从起始位置运行到终点位置。本发明实施例可防止了两相混合式步进电机启动时的失步和停止时的过冲,使得两相混合式步进电机能够精确地运行到指定位置。
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公开(公告)号:CN102662406B
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:CN201210118643.7
申请日:2012-04-23
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明涉及一种特大齿轮姿态控制方法及系统,其中方法包括:通过上位机获取用于驱动姿态调整平台的四个驱动电机各自对应的调整量;所述上位机根据所述四个驱动电机各自对应的调整量向运动控制单元发送第一控制命令;所述运动控制单元根据所述第一控制命令分别向所述四个步进电机发送各自对应的脉冲控制信号;四个步进电机根据各自对应的脉冲控制信号驱动与四个步进电机分别相对应的四个机械传动结构从而控制姿态调整平台对三维测量平台进行位置调整。本发明实施例使得整个特大齿轮在位测量系统根据特大齿轮的位置实现小角度、快速的测量。
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