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公开(公告)号：CN111918605B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN201980021754.6
申请日：2019-03-14
Applicant: 创意科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种能够通过电性吸着力而吸着及保持于人体的皮肤等被吸着物上的吸着垫与吸着方法。一种吸着垫，吸着于被吸着物而使用，所述吸着垫的特征在于包括：层叠薄片，依次层叠有厚度20μm～200μm的第一树脂薄膜、厚度1μm～20μm的电极层、及厚度20μm～200μm的第二树脂薄膜；以及电源装置，对所述电极层施加电压；且至少所述第二树脂薄膜的拉伸弹性模量为1MPa以上且未满100MPa，并且其体积电阻率为1×1010Ω·cm～1×1013Ω·cm，通过对所述电极层施加电压而产生的电性吸着力，可使所述第二树脂薄膜作为吸着面，吸着于被吸着物。
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公开(公告)号：CN104737282A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380053263.2
申请日：2013-10-01
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: G01B7/002 , G01B7/003 , G01B7/02 , G01D5/24 , G01D5/2412 , H01L21/67259 , H01L21/673
Abstract: 提供能够检测工件(w)相对平面方向的横向偏移的工件保持装置、以及使用了该装置的工件(w)的横向偏移检测方法。是一种工件保持装置，在支撑板块上具备粘接焊盘(2)而保持工件(w)，其中，具备：静电电容测定器(5)，具有在与工件(w)的周缘部对应的位置的至少一部分中设置了的由第1以及第2电极(3a、3b)构成的电极对，测定该电极对的静电电容；以及比较电路(6)，将所测定的静电电容与规定的基准值进行比较，检测工件(w)相对支撑板块(1)的平面方向的横向偏移，并且，是一种工件(w)的横向偏移检测方法，其中，将输入到上述比较电路(6)的静电电容与规定的基准值进行比较，来检测工件(w)的横向偏移。
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公开(公告)号：CN102473668B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201080028921.9
申请日：2010-06-29
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , H02N13/00 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明提供一种电气地吸附被吸附物而使用的静电吸附构造体、并且在使用时紧固的一体构造被维持并在使用之后可以自由地变更构造体的结构的静电吸附构造体及其制造方法。具有在2个电介体之间夹入了电极的多个片部件、和至少1个吸附电源，层叠多个片部件并通过吸附电源向对向的片部件的电极之间施加电压，从而使对向的片部件之间电气地吸附固定，并且使被吸附物吸附到表面最外层或者背面最外层处的片部件中的某一方或者两方的最外层片部件的电介体而使用，在使用之后，如果解除施加电压，则可以使层叠了的片部件相互分离，并且，通过固定单元使多个片部件一边相互对位一边层叠，从而可靠地并且简便地得到这样的静电吸附构造体。
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公开(公告)号：CN102089875B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200980126286.5
申请日：2009-06-30
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H02N13/00 , H01L21/6833
Abstract: 本发明提供一种施加电压时的基板吸附性优良并且停止施加电压时的残余电荷的减少性优良的双极型静电吸盘。该双极型静电吸盘是至少具备具有第一以及第二电极的电极层、形成吸附基板的基板吸附面的上部绝缘层的双极型静电吸盘，当将电极层的表面相对于xy方向分割为具有规定的宽度L的多个假想单元的情况下，形成第一电极的第一电极部和形成第二电极的第二电极部相对于x方向的假想单元交替排列地配置，并且相对于y方向的假想单元交替排列地配置。
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公开(公告)号：CN101223637B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN200680025391.6
申请日：2006-07-11
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/304 , B08B6/00 , H02N13/00
CPC classification number: H02N13/00 , B08B6/00 , B08B7/0014 , H01L21/02046 , H01L21/02096 , H01L21/67132 , H01L21/683
Abstract: 提供切实地去除附着在基板上的异物并排除再次附着的可能性、且也能够应用于大型基板的基板的异物去除装置、以及异物去除方法。该异物去除装置具备：形成使基板(1)吸附的基板吸附面(4)的静电吸盘(2、3)、向基板吸附面(4)供给树脂片(5)的树脂片供给装置(9)、回收供给出的树脂片(5)的树脂片回收装置(13)和进行基板(1)的输送的基板输送装置，其中，将借助基板输送装置供给到静电吸盘(2、3)上的基板(1)隔着树脂片(5)吸附在基板吸附面(4)上，使附着在该基板(1)的基板吸附面(4)侧的异物(22)转移到树脂片(5)上从而去除。
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公开(公告)号：CN112640042B
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN201980055806.1
申请日：2019-08-23
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/02 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种洗净装置，可抑制真空状态下的静电吸附力的减少，并去除半导体制造装置的真空处理室内的异物。所述洗净装置包括：异物吸附部(4)，在绝缘体的内部设置有包含一对电极的吸附电极(3)；以及吸附控制部(5)，将控制开关接通来使所述吸附电极带电，使绝缘体的表面显现静电吸附力而可吸附异物；且所述吸附控制部(5)的控制开关是可进行外部操作的远程操作型的开关，针对在真空状态下被封闭的真空封闭空间内的所述洗净装置，将控制开关接通，由此可通过在真空状态下显现的静电吸附力来去除真空处理室内的异物。
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公开(公告)号：CN103283013A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201180062765.2
申请日：2011-12-20
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/67103 , H01L21/6833 , H01L21/68785
Abstract: 本发明涉及一种工件加热装置及使用其的工件处理装置，能够通过高的均热性对工件进行加热，并且能够进行精细的温度控制，而且，能够防止卡盘部件的变形等，并能够长期可靠性良好地进行使用。一种工件加热装置，层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，其中，加热器部件在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有吸附卡盘部件的卡盘吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件，并将该工件加热装置载置在基础底座上。
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公开(公告)号：CN102160165A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200980136283.X
申请日：2009-09-14
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833
Abstract: 提供一种电力自给型的静电吸盘(8)，能够在基板的处理中进行发电并且供给吸附电极(3)所使用的电力。该静电吸盘(8)在产生光能而处理基板的基板处理装置(11)中吸附保持基板，其特征在于，具有：具备吸附电极(3)的电极片(5)、在上表面侧层叠电极片(5)的金属基盘(1)、得到供给吸附电极(3)的电力的内部电源、以及对由内部电源得到的电力的电压进行升压的升压电路(7)，内部电源为太阳能电池(6)，在基板的处理中将光能转换为电力而使电极片(5)吸附保持基板。
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公开(公告)号：CN101223637A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200680025391.6
申请日：2006-07-11
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/304 , B08B6/00 , H02N13/00
CPC classification number: H02N13/00 , B08B6/00 , B08B7/0014 , H01L21/02046 , H01L21/02096 , H01L21/67132 , H01L21/683
Abstract: 提供切实地去除附着在基板上的异物并排除再次附着的可能性、且也能够应用于大型基板的基板的异物去除装置、以及异物去除方法。该异物去除装置具备：形成使基板(1)吸附的基板吸附面(4)的静电吸盘(2、3)、向基板吸附面(4)供给树脂片(5)的树脂片供给装置(9)、回收供给出的树脂片(5)的树脂片回收装置(13)和进行基板(1)的输送的基板输送装置，其中，将借助基板输送装置供给到静电吸盘(2、3)上的基板(1)隔着树脂片(5)吸附在基板吸附面(4)上，使附着在该基板(1)的基板吸附面(4)侧的异物(22)转移到树脂片(5)上从而去除。
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公开(公告)号：CN102473668A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080028921.9
申请日：2010-06-29
Applicant: 创意科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , H02N13/00 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明提供一种电气地吸附被吸附物而使用的静电吸附构造体、并且在使用时紧固的一体构造被维持并在使用之后可以自由地变更构造体的结构的静电吸附构造体及其制造方法。具有在2个电介体之间夹入了电极的多个片部件、和至少1个吸附电源，层叠多个片部件并通过吸附电源向对向的片部件的电极之间施加电压，从而使对向的片部件之间电气地吸附固定，并且使被吸附物吸附到表面最外层或者背面最外层处的片部件中的某一方或者两方的最外层片部件的电介体而使用，在使用之后，如果解除施加电压，则可以使层叠了的片部件相互分离，并且，通过固定单元使多个片部件一边相互对位一边层叠，从而可靠地并且简便地得到这样的静电吸附构造体。
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