基于多光学模式的MEMS器件测量系统、方法及设备

    公开(公告)号:CN114279341B

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202111609478.0

    申请日:2021-12-24

    IPC分类号: G01B11/02 G01B11/22 G01B11/26

    摘要: 本申请提供一种基于多光学模式的MEMS器件测量系统、方法及设备,系统包括光源模块、光信号读取模块、数据处理运算模块、光束分光模块、光信号收集模块和待测MEMS器件,光源模块用于输入光信号;光信号读取模块用于将光信号转换为电信号;光信号收集模块用于投射光信号,并收集光调制信号;光束分光模块用于将光信号分别传导至光信号读取模块和光信号收集模块中;数据处理运算模块用于根据不同的光学测量模式对电信号进行相应的运算处理,得到待测MEMS器件的三维特征尺寸。本申请将多种光学测量模式融合进同一测量系统中,能够实现不同范围的三维特征尺寸所有参数的测量,测量范围更大,相对于单一光学测量模式下的测量精度更高。

    一种面结构光三维测量系统的校正方法和设备

    公开(公告)号:CN114111639B

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202111423464.X

    申请日:2021-11-26

    IPC分类号: G01B11/25

    摘要: 本申请提供一种面结构光三维测量系统的校正方法和设备,包括校正系统中的畸变,获取无畸变测量点的世界坐标系;将世界坐标系下第一方向的有效工作范围划分为N个区间;获取标准校正块在每个区间的表面数据;在每个子区域,确定对应的第一坐标值,子区域为每个区间按预设大小沿世界坐标系的第二方向和第三方向划分得到的;将每个区间所有子区域的第一坐标值进行曲面拟合确定基准校正面;确定每个子区域的补偿量,补偿量为对应的表面数据与基准校正面的偏差量的平均值;建立无畸变测量点的世界坐标系下不同区间下子区域与补偿量的查找表。在摄像机和投影仪畸变校正的基础上,消除系统误差,提高系统的测量精度,满足高精度被测物的测量需求。

    一种校正图像横向色差的方法

    公开(公告)号:CN114283077B

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202111493553.1

    申请日:2021-12-08

    IPC分类号: G06T5/90 G06T7/90

    摘要: 本申请提供一种校正图像横向色差的方法,包括计算G通道图像中待校正像素点的第一中心距;构建R通道图像中的第二中心距与第一中心距的二次方程式,以及B通道图像中的第三中心距与第一中心距的二次方程式;根据二次方程式结合G通道图像、R通道图像以及B通道图像的其他相应参数计算并获取待校正像素点的R通道灰度值和B通道灰度值;将G通道灰度值、R通道灰度值和B通道灰度值叠加后作为新图像中待校正像素点的RGB值并输出。本申请在对标定图像进行横向色差校正时,横轴和纵轴只需要拟合一个二次方程式,相较于现有的需要将横轴和纵轴分别进行拟合三次多项式校正的方案,运算量更少,对标定图像的横向色差校正速度更快,校正误差更小。

    一种校正图像横向色差的方法

    公开(公告)号:CN114283077A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111493553.1

    申请日:2021-12-08

    IPC分类号: G06T5/00 G06T7/90

    摘要: 本申请提供一种校正图像横向色差的方法,包括计算G通道图像中待校正像素点的第一中心距;构建R通道图像中的第二中心距与第一中心距的二次方程式,以及B通道图像中的第三中心距与第一中心距的二次方程式;根据二次方程式结合G通道图像、R通道图像以及B通道图像的其他相应参数计算并获取待校正像素点的R通道灰度值和B通道灰度值;将G通道灰度值、R通道灰度值和B通道灰度值叠加后作为新图像中待校正像素点的RGB值并输出。本申请在对标定图像进行横向色差校正时,横轴和纵轴只需要拟合一个二次方程式,相较于现有的需要将横轴和纵轴分别进行拟合三次多项式校正的方案,运算量更少,对标定图像的横向色差校正速度更快,校正误差更小。

    基于多光学模式的MEMS器件测量系统、方法及设备

    公开(公告)号:CN114279341A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111609478.0

    申请日:2021-12-24

    IPC分类号: G01B11/02 G01B11/22 G01B11/26

    摘要: 本申请提供一种基于多光学模式的MEMS器件测量系统、方法及设备,系统包括光源模块、光信号读取模块、数据处理运算模块、光束分光模块、光信号收集模块和待测MEMS器件,光源模块用于输入光信号;光信号读取模块用于将光信号转换为电信号;光信号收集模块用于投射光信号,并收集光调制信号;光束分光模块用于将光信号分别传导至光信号读取模块和光信号收集模块中;数据处理运算模块用于根据不同的光学测量模式对电信号进行相应的运算处理,得到待测MEMS器件的三维特征尺寸。本申请将多种光学测量模式融合进同一测量系统中,能够实现不同范围的三维特征尺寸所有参数的测量,测量范围更大,相对于单一光学测量模式下的测量精度更高。

    一种相机的时间授时方法和装置

    公开(公告)号:CN114268706A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202111521449.9

    申请日:2021-12-13

    IPC分类号: H04N5/04 H04N5/235 H04N5/232

    摘要: 本申请提供了一种相机的时间授时方法和装置,能够对相机的图像数据进行精准时间授时,从而使得多相机系统之间能够进行统一数据处理,该方法通过协议转译同步盒对第一服务器进行同步授时,并向第一服务器和至少一个相机发送第一相对时间戳,来触发至少一个相机中的相机进行曝光,该至少一个相机中的多个相机将带有第一相对时间戳的图像数据发送给第一服务器,第一服务器将接收到第一相对时间戳之后以及接收到下一个相对时间戳之前所接收到的第一个绝对时间信息,作为第一相对时间戳对应的精准时间,并利用该多个相机发送的带有第一相对时间戳的图像数据的帧信息对该图像数据进行分组,将该绝对时间信息插入到每个组的图像数据中。

    一种平场校正参数的获取方法及装置

    公开(公告)号:CN113808046A

    公开(公告)日:2021-12-17

    申请号:CN202111097720.0

    申请日:2021-09-18

    IPC分类号: G06T5/00 G06T7/80

    摘要: 本申请提供一种平场校正参数的获取方法及装置,方法包括获取待校正图像的暗场图像;计算并存储暗场行均值向量和暗场列均值向量;调用存储的暗场行均值向量,计算暗场行均值矩阵;调用存储的暗场列均值向量,计算暗场列均值矩阵;将暗场行均值矩阵和暗场列均值矩阵相加,得到每一个暗场像素点的FPN参数;获取待校正图像的亮场图像中每一个亮场像素点的PRNU参数;将FPN参数和PRNU参数输出为待校正图像中每一个待校正像素点的平场校正参数。本申请仅需要存储待校正图像的行均值向量和列均值向量,减小了平场校正时需要存储的参数数据量,并且本申请可得到与对待校正图像中逐个像素点进行平场校正参数计算后相同数据量的平场校正参数。

    一种平场校正参数的获取方法及装置

    公开(公告)号:CN113808046B

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202111097720.0

    申请日:2021-09-18

    IPC分类号: G06T5/90 G06T7/80

    摘要: 本申请提供一种平场校正参数的获取方法及装置,方法包括获取待校正图像的暗场图像;计算并存储暗场行均值向量和暗场列均值向量;调用存储的暗场行均值向量,计算暗场行均值矩阵;调用存储的暗场列均值向量,计算暗场列均值矩阵;将暗场行均值矩阵和暗场列均值矩阵相加,得到每一个暗场像素点的FPN参数;获取待校正图像的亮场图像中每一个亮场像素点的PRNU参数;将FPN参数和PRNU参数输出为待校正图像中每一个待校正像素点的平场校正参数。本申请仅需要存储待校正图像的行均值向量和列均值向量,减小了平场校正时需要存储的参数数据量,并且本申请可得到与对待校正图像中逐个像素点进行平场校正参数计算后相同数据量的平场校正参数。

    一种三维测量设备的标定方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114066996A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202111375763.0

    申请日:2021-11-19

    IPC分类号: G06T7/80

    摘要: 本申请提供一种三维测量设备的标定方法,包括获取标定物的标定图像数据和标定物上特征点的空间坐标,其中,所述标定物上特征点的空间坐标根据所述标定物的尺寸获取;根据所述标定图像数据,确定所述标定物上特征点对应成像面特征点的像素坐标;通过畸变模型和成像面特征点的像素坐标确定畸变参数;通过畸变模型确定所述成像面特征点的像素坐标对应的无畸变像素坐标;根据单应性矩阵确定所述空间坐标和所述无畸变像素坐标的变换矩阵,所述变换矩阵用于标定待测物的坐标;本申请通过标定物上特征点的空间坐标和对应的无畸变像素坐标的获取,确定用于标定的变换矩阵,提高三个测量设备的标定精度。