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公开(公告)号：CN104160061B
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201280068522.4
申请日：2012-12-13
申请人： 六号元素技术有限公司
IPC分类号： C23C16/01 , C23C16/27 , H01J37/32 , C23C16/44 , C23C16/56 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46
CPC分类号： G02B1/02 , C01B32/25 , C23C16/01 , C23C16/274 , C23C16/4586 , C23C16/463 , C23C16/56 , Y10T428/24355
摘要： 本发明涉及一种多晶化学气相沉积的(CVD)金刚石晶圆，其包括：最大线性尺寸等于或大于70mm；厚度等于或大于1.3mm；以及在室温(标称的298K)下测量的、多晶CVD金刚石晶圆的至少中心区域上的以下特征中的一个或两个：在10.6μm下吸收系数≤0.2cm‑1；和在145GHz下介电损失系数为tanδ≤2×10‑4，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶圆的中心点为中心，并且具有的直径为多晶CVD金刚石晶圆的最大线性尺寸的至少70％。
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公开(公告)号：CN110199446A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201780084164.9
申请日：2017-12-15
申请人： 六号元素技术有限公司
发明人： J·M·多德森
摘要： 一种散热器，其包括散热片(2)，所述散热片由合成金刚石制成并且具有用于安装一个或多个例如激光盘(8)的待冷却部件的前表面和用于直接流体冷却(10)的后表面。多个肋状件(4、7)接合到散热片(2)的后表面以便加强散热片的刚度。散热片和多个肋状件都由合成金刚石材料形成。肋状件(4、7)可以通过钎焊接合(6)而固定到散热片。
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公开(公告)号：CN110199446B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201780084164.9
申请日：2017-12-15
申请人： 六号元素技术有限公司
发明人： J·M·多德森
摘要： 一种散热器，其包括散热片(2)，所述散热片由合成金刚石制成并且具有用于安装一个或多个例如激光盘(8)的待冷却部件的前表面和用于直接流体冷却(10)的后表面。多个肋状件(4、7)接合到散热片(2)的后表面以便加强散热片的刚度。散热片和多个肋状件都由合成金刚石材料形成。肋状件(4、7)可以通过钎焊接合(6)而固定到散热片。
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公开(公告)号：CN104220635B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201280068267.3
申请日：2012-12-12
申请人： 六号元素技术有限公司
IPC分类号： C23C16/01 , C23C16/27 , H01J37/32 , C23C16/44 , C23C16/56 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46
CPC分类号： C23C16/274 , C23C16/01 , C23C16/4401 , C23C16/45563 , C23C16/4586 , C23C16/463 , C23C16/466 , C23C16/511 , C23C16/56 , G02B1/113 , H01J37/32192 , H01J37/32229 , H01J37/32238 , Y10T428/24355
摘要： 一种多晶化学气相沉积(CVD)金刚石晶片包括：等于或大于125mm的最大线性尺寸；等于或大于200μm的厚度；以及在室温下(标称298K)在多晶CVD金刚石晶片的至少中心区域上测量的以下特性中的一个或两个，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶片的中心点为中心，并且所述中心区域的直径是多晶CVD金刚石晶片的最大线性尺寸的至少70％：在10.6μm处，吸收系数≤0.2cm‑1；以及在145GHz时介电损耗系数为tanδ≤2×10‑4。
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公开(公告)号：CN104220635A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201280068267.3
申请日：2012-12-12
申请人： 六号元素技术有限公司
IPC分类号： C23C16/01 , C23C16/27 , H01J37/32 , C23C16/44 , C23C16/56 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46
CPC分类号： C23C16/274 , C23C16/01 , C23C16/4401 , C23C16/45563 , C23C16/4586 , C23C16/463 , C23C16/466 , C23C16/511 , C23C16/56 , G02B1/113 , H01J37/32192 , H01J37/32229 , H01J37/32238 , Y10T428/24355
摘要： 一种多晶化学气相沉积(CVD)金刚石晶片包括：等于或大于125mm的最大线性尺寸；等于或大于200μm的厚度；以及在室温下(标称298K)在多晶CVD金刚石晶片的至少中心区域上测量的以下特性中的一个或两个，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶片的中心点为中心，并且所述中心区域的直径是多晶CVD金刚石晶片的最大线性尺寸的至少70％：在10.6μm处，吸收系数≤0.2cm-1；以及在145GHz时介电损耗系数为tanδ≤2×10-4。
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公开(公告)号：CN104160061A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201280068522.4
申请日：2012-12-13
申请人： 六号元素技术有限公司
IPC分类号： C23C16/01 , C23C16/27 , H01J37/32 , C23C16/44 , C23C16/56 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46
CPC分类号： G02B1/02 , C01B32/25 , C23C16/01 , C23C16/274 , C23C16/4586 , C23C16/463 , C23C16/56 , Y10T428/24355
摘要： 本发明涉及一种多晶化学气相沉积的(CVD)金刚石晶圆，其包括：最大线性尺寸等于或大于70mm；厚度等于或大于1.3mm；以及在室温(标称的298K)下测量的、多晶CVD金刚石晶圆的至少中心区域上的以下特征中的一个或两个：在10.6μm下吸收系数≤0.2cm-1；和在145GHz下介电损失系数为tanδ≤2×10-4，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶圆的中心点为中心，并且具有的直径为多晶CVD金刚石晶圆的最大线性尺寸的至少70％。
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