公开(公告)号：CN1306291A

公开(公告)日：2001-08-01

申请号：CN01101377.X

申请日：2001-01-16

申请人： 克罗诺斯集成微系统公司

发明人： 爱德华·A.·希尔 ,  拉马斯瓦米·马哈德万

IPC分类号： H01H36/00

CPC分类号： H01H50/005 ,  H01H67/22 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2036/0093

摘要： 一种MEMS电交叉点开关,包括一个微电子衬底,一个磁性元件,附于微电子衬底,并且响应磁场而在预定方向自由地移动,和一个电元件,与磁性元件连接,以与其一起移动,以有选择地转换电流。还提供一种MEMS电交叉点开关阵列,包括一个微电子衬底,一个磁场源,与所述微电子衬底连通,多条第一和第二电线,以阵列形状安排在微电子衬底上,和多个如上所述的平面内MEMS电交叉点开关,安排在第一和第二电线的交叉点。

公开(公告)号：CN1304379A

公开(公告)日：2001-07-18

申请号：CN00800228.2

申请日：2000-02-21

申请人： 克罗诺斯集成微系统公司

发明人： 爱德华·希尔 ,  罗伯特·L·伍德 ,  拉马斯瓦米·马哈德万

IPC分类号： B81B3/00 ,  H02N10/00

CPC分类号： H02N10/00 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0081 ,  H01H1/0036 ,  H01H2001/0042

摘要： 提供一种补偿环境温度的变化、工艺的改变等等的MEMS结构,它可利用于许多应用中。这种结构包括一个主动微致动器(105),适合于热致动以响应其温度的主动改变而运动。主动微致动器可进一步适合于响应环境温度的变化而运动。这种结构还包括一个温度补偿元件(205),诸如一个温度补偿微致动器或一个框架,适合于响应环境温度的变化而运动。主动微致动器与温度补偿元件响应环境温度的变化而协同运动。因此,在主动微致动器温度没有主动改变的情况下,在宽范围的环境温度下主动微致动器与相关的温度补偿微致动器之间保持预定的空间关系。在一个供选的实施方案中,主动微致动器悬置在微电子衬底上的一个框架上,在主动微致动器温度没有主动改变的情况下,在宽范围的环境温度下该MEMS结构保持主动微致动器的至少一部分相对于衬底处于一个固定位置。