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发明公开
MEMS磁性致动开关及相关的开关阵列无效转让

公开(公告)号：CN1306291A

公开(公告)日：2001-08-01

申请号：CN01101377.X

申请日：2001-01-16

申请人： 克罗诺斯集成微系统公司

发明人： 爱德华·A.·希尔 , 拉马斯瓦米·马哈德万

IPC分类号： H01H36/00

CPC分类号： H01H50/005 , H01H67/22 , H01H2001/0078 , H01H2036/0093

摘要： 一种MEMS电交叉点开关,包括一个微电子衬底,一个磁性元件,附于微电子衬底,并且响应磁场而在预定方向自由地移动,和一个电元件,与磁性元件连接,以与其一起移动,以有选择地转换电流。还提供一种MEMS电交叉点开关阵列,包括一个微电子衬底,一个磁场源,与所述微电子衬底连通,多条第一和第二电线,以阵列形状安排在微电子衬底上,和多个如上所述的平面内MEMS电交叉点开关,安排在第一和第二电线的交叉点。