公开(公告)号：CN1205783A

公开(公告)日：1999-01-20

申请号：CN96199202.6

申请日：1996-12-17

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： S·F·瓦纳特 ,  M·D·拉曼 ,  D·N·堪那 ,  D·P·奥宾 ,  S·S·笛斯特

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0236

Abstract: 适于用作感光树脂的正作用光敏组合物,它含有至少一种水不溶的碱性水溶液可溶的成膜线性酚醛清漆树脂;至少一种邻－重氮萘醌光敏剂和含丙二醇烷基醚乙酸酯和3－甲基－3－甲氧基丁醇的溶剂混合物的组合物,以及制备这种组合物的工艺。

公开(公告)号：CN1142463C

公开(公告)日：2004-03-17

申请号：CN98810741.4

申请日：1998-09-16

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： M·D·拉曼 ,  S·F·瓦纳特 ,  M·M·库克 ,  D·S·麦克肯兹 ,  S·S·狄克斯特

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/00

CPC classification number: C08G8/00 ,  G03F7/0236 ,  Y10S430/106

Abstract: 本发明提供了一种成膜分级酚醛清漆树脂共聚物的生产方法，其中所述的酚醛清漆树脂共聚物在光刻胶组合物中显示出快速的感光速度和优异的性能。另外，本发明还提供根据所述分级酚醛清漆树脂共聚物生产光刻胶组合物的方法，以及使用所述光刻胶组合物生产半导体装置的方法。

公开(公告)号：CN1094208C

公开(公告)日：2002-11-13

申请号：CN96199202.6

申请日：1996-12-17

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： S·F·瓦纳特 ,  M·D·拉曼 ,  D·N·堪那 ,  D·P·奥宾 ,  S·S·笛斯特

IPC: G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/022 ,  G03F7/0236

Abstract: 适于用作感光树脂的正作用光敏组合物，它含有至少一种水不溶的碱性水溶液可溶的成膜线性酚醛清漆树脂；至少一种邻-重氮萘醌光敏剂和含丙二醇烷基醚乙酸酯和3-甲基-3-甲氧基丁醇的溶剂混合物的组合物，以及制备这种组合物的工艺。

公开(公告)号：CN1330778A

公开(公告)日：2002-01-09

申请号：CN99813189.X

申请日：1999-11-03

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： S·F·瓦纳特 ,  D·M·拉曼 ,  J·J·科克茨卡 ,  B·纳拉西姆汉

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/08

CPC classification number: G03F7/0236

Abstract: 本发明提供一种用液/液离心机以连续分级和分离的方式分离酚醛清漆树脂级分从而制备有一致分子量且多分散性降低的成膜分级酚醛清漆树脂的方法,缩短了加工时间,减少了会造成酚醛清漆树脂不希望的变化的分离步骤。还提供一种用这样的分级酚醛清漆树脂制备光致抗蚀剂组合物及用该光致抗蚀剂组合物制备半导体设备的方法。

公开(公告)号：CN1278336A

公开(公告)日：2000-12-27

申请号：CN98810741.4

申请日：1998-09-16

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： M·D·拉曼 ,  S·F·瓦纳特 ,  M·M·库克 ,  D·S·麦克肯兹 ,  S·S·狄克斯特

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/00

CPC classification number: C08G8/00 ,  G03F7/0236 ,  Y10S430/106

Abstract: 本发明提供了一种成膜分级酚醛清漆树脂共聚物的生产方法,其中所述的酚醛清漆树脂共聚物在光刻胶组合物中显示出快速的感光速度和优异的性能。另外,本发明还提供根据所述分级酚醛清漆树脂共聚物生产光刻胶组合物的方法,以及使用所述光刻胶组合物生产半导体装置的方法。