公开(公告)号：CN1142463C

公开(公告)日：2004-03-17

申请号：CN98810741.4

申请日：1998-09-16

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： M·D·拉曼 ,  S·F·瓦纳特 ,  M·M·库克 ,  D·S·麦克肯兹 ,  S·S·狄克斯特

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/00

CPC classification number: C08G8/00 ,  G03F7/0236 ,  Y10S430/106

Abstract: 本发明提供了一种成膜分级酚醛清漆树脂共聚物的生产方法，其中所述的酚醛清漆树脂共聚物在光刻胶组合物中显示出快速的感光速度和优异的性能。另外，本发明还提供根据所述分级酚醛清漆树脂共聚物生产光刻胶组合物的方法，以及使用所述光刻胶组合物生产半导体装置的方法。

公开(公告)号：CN1278336A

公开(公告)日：2000-12-27

申请号：CN98810741.4

申请日：1998-09-16

Applicant: 克拉里安特国际有限公司

Inventor： M·D·拉曼 ,  S·F·瓦纳特 ,  M·M·库克 ,  D·S·麦克肯兹 ,  S·S·狄克斯特

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/00

CPC classification number: C08G8/00 ,  G03F7/0236 ,  Y10S430/106

Abstract: 本发明提供了一种成膜分级酚醛清漆树脂共聚物的生产方法,其中所述的酚醛清漆树脂共聚物在光刻胶组合物中显示出快速的感光速度和优异的性能。另外,本发明还提供根据所述分级酚醛清漆树脂共聚物生产光刻胶组合物的方法,以及使用所述光刻胶组合物生产半导体装置的方法。