-
公开(公告)号：CN1330778A
公开(公告)日：2002-01-09
申请号：CN99813189.X
申请日：1999-11-03
Applicant: 克拉里安特国际有限公司
CPC classification number: G03F7/0236
Abstract: 本发明提供一种用液/液离心机以连续分级和分离的方式分离酚醛清漆树脂级分从而制备有一致分子量且多分散性降低的成膜分级酚醛清漆树脂的方法,缩短了加工时间,减少了会造成酚醛清漆树脂不希望的变化的分离步骤。还提供一种用这样的分级酚醛清漆树脂制备光致抗蚀剂组合物及用该光致抗蚀剂组合物制备半导体设备的方法。
Search Results
1
records
(took 0.028 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
