基板收纳容器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102473664A

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN201080030867.1

    申请日:2010-06-28

    CPC classification number: G03F1/66 H01L21/67366 H01L21/67373 H01L21/67389

    Abstract: 提供一种能够降低吸湿性及水分透过性、抑制基板的有机污染的便宜的基板收纳容器。具备将多片半导体晶片整齐排列收纳的前开盒型的容器主体(1)、和经由密封用的衬垫拆装自如地嵌合在该容器主体(1)的开口的正面(6)上的盖体(20),将这些容器主体(1)和盖体(20)用含有吸水率为0.1%以下、在80℃下加热24小时而通过动态顶空法测量的总脱气量为15ppm以下的合成树脂的成形材料分别注射成形。使成形材料的合成树脂为从环烯聚合物、液晶聚合物、聚醚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、或聚对苯二甲酸乙二醇酯中选择的至少一种、或者它们的合金树脂。

    基板收纳容器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101536174A

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200780041408.1

    申请日:2007-10-26

    Inventor: 三村博

    Abstract: 提供一种能够使对于基板的保持件的接触区域减少、将基板的污染减少等的基板收纳容器。一种基板收纳容器,在能够整列收纳多张半导体晶片(W)的容器本体(10)和盖体(20)之间,夹有保持半导体晶片(W)的保持件(30),其中保持件(30)包含:可挠性的多个弹性片(31),从盖体(20)的顶板内表面向收纳于容器本体(10)中的半导体晶片(W)方向伸长,在多张半导体晶片(W)的整列方向上并排;以及保持槽片(34),形成在各弹性片(31)的顶端部,接触保持半导体晶片(W)的周缘部。使弹性片(31)和保持槽片(34)随着从盖体(20)的顶板内表面侧向着半导体晶片(W)方向而渐渐弯曲而朝向半导体晶片(W)的半径外方向外侧,使对于半导体晶片(W)周缘部上端的保持槽片(34)的接触保持区域减少。

    基板收纳容器
    4.
    发明公开
    基板收纳容器 审中-实审

    公开(公告)号:CN111213228A

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN201880066595.7

    申请日:2018-10-01

    Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器,该基板收纳容器在将盖体安装于容器主体、将基板从支撑部举起并支撑时,能够有效地将来自基板按压部的按压力传递至基板接收部。基板收纳容器1具备:容器主体10,其在正面具有开口11,并且在内侧形成有支撑基板W的支撑部12;以及位于比支撑部12更靠近背面壁侧的基板接收部13;以及盖体20,其具有按压构件21,按压构件21形成有按压基板W的基板按压部210;其中,在以盖体20为正面进行观察时,基板接收部13以及基板按压部210位于从通过容器主体10的中心C的上下方向的中心线Z(Y)开始,在左右方向上的0mm以上80mm以下的范围。

    收纳容器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100521138C

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200680013003.2

    申请日:2006-03-30

    Abstract: 本发明提供一种收纳容器,可防止由于进退动作体的运动而产生灰尘,可减小盖体的空间和厚度并防止收纳物品的污染。具有收纳精密基板用的容器主体(1)、开闭该容器主体(1)的正面的盖体(10)、对覆盖容器主体(1)的盖体(10)进行加锁/解锁的加锁机构(20)。加锁机构(20)包括:支承在盖体(10)上的旋转板(21)、通过旋转板(21)的旋转而在盖体(10)加锁时向盖体(10)的周壁方向突出且在盖体(10)解锁时回到盖体(10)的基准位置的第1进退动作板(26)、支承在第一进退动作板(26)的前端部并在盖体(10)加锁时从盖体(10)的周壁突出而插入到容器主体(1)的卡止凹部(3)中且在盖体(10)解锁时从容器主体(1)的卡止凹部(3)向盖体方向返回的第二进退动作板(32)、以及使突出的第二进退动作板(32)向盖体(10)的厚度方向倾斜的引导肋(37)。

    基片存储容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1865096A

    公开(公告)日:2006-11-22

    申请号:CN200610080573.5

    申请日:2006-05-17

    CPC classification number: H01L21/67369 H01L21/67383

    Abstract: 本发明公开一种基片存储容器,包括容器主体、第一支撑部件和第二支撑部件。容器主体包括后壁和一对侧壁,用于将基片存储在两侧壁之间。第一支撑部件相对设置在每个侧壁上,用于支撑基片的周缘部分。第二支撑部件相对设置在每个侧壁上,用于支撑基片的周缘部分,并且位于后壁和第一支撑部件之间。第一支撑部件和第二支撑部件覆盖有摩擦性能低于容器主体摩擦性能的树脂层。

    基板收纳容器
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107431036B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN201680018405.5

    申请日:2016-02-22

    Abstract: 本发明既维持基板收纳容器内的保持部的槽内的基板的顺利的上下移动,且也实现减少基板端面附近的与保持部的擦痕。本发明涉及一种基板收纳容器(1),具备收纳基板(W)的至少一侧开口的容器主体(2)、及能够装卸于该容器主体(2)的开口部(5)使之开闭自如的盖体(3),且在容器主体(2)的内部,具备附有将基板(W)的后方部位予以保持的第一保持槽(12a)的第一保持部(12),在盖体(3)的内侧,具备附有将基板(W)的前方部位予以保持的第二保持槽(25a)的第二保持部(25),使第一保持部(12)中的至少第一保持槽(12a)由以聚碳酸酯树脂与聚对苯二甲酸丁二酯树脂为主的合金树脂构成。

    基板收纳容器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107431036A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680018405.5

    申请日:2016-02-22

    Abstract: 本发明既维持基板收纳容器内的保持部的槽内的基板的顺利的上下移动,且也实现减少基板端面附近的与保持部的擦痕。本发明涉及一种基板收纳容器(1),具备收纳基板(W)的至少一侧开口的容器主体(2)、及能够装卸于该容器主体(2)的开口部(5)使之开闭自如的盖体(3),且在容器主体(2)的内部,具备附有将基板(W)的后方部位予以保持的第一保持槽(12a)的第一保持部(12),在盖体(3)的内侧,具备附有将基板(W)的前方部位予以保持的第二保持槽(25a)的第二保持部(25),使第一保持部(12)中的至少第一保持槽(12a)由以聚碳酸酯树脂与聚对苯二甲酸丁二酯树脂为主的合金树脂构成。

    基板收纳容器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104520984B

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201380011256.6

    申请日:2013-04-01

    CPC classification number: H01L21/67393 H01L21/67366

    Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器,其在被清洁后,也能够长时间将内部封闭空间的相对湿度维持在低湿度。上述基板收纳容器(1)中,作为区划内部封闭空间(3)的构成部件的外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的构成材料,是一种吸水率在0.1重量百分数以下的特殊构成材料,上述吸水率是在23℃的水中经过24小时浸泡后测定所得。从而,按照JIS K7209规格,或者ISO62规格的标准,使外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的水分放出抑制能力能够满足客观的现实需求,显著地抑制水分自上述构成部件释放至内部封闭空间3中。

    基板收纳容器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104520984A

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201380011256.6

    申请日:2013-04-01

    CPC classification number: H01L21/67393 H01L21/67366

    Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器,其在被清洁后,也能够长时间将内部封闭空间的相对湿度维持在低湿度。上述基板收纳容器(1)中,作为区划内部封闭空间(3)的构成部件的外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的构成材料,是一种吸水率在0.1重量百分数以下的特殊构成材料,上述吸水率是在23℃的水中经过24小时浸泡后测定所得。从而,按照JIS K7209规格,或者ISO62规格的标准,使外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的水分放出抑制能力能够满足客观的现实需求,显著地抑制水分自上述构成部件释放至内部封闭空间3中。

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