公开(公告)号：CN112740368B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN201980060791.8

申请日：2019-09-26

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 大久保裕司 ,  佐藤圣二 ,  有本康浩 ,  田中纪通

IPC: H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种晶圆收纳容器的清洗方法，该晶圆收纳容器具有收纳多个晶圆的容器主体、以及经由衬垫将该容器主体的开口部密闭的盖体，该方法具有将所述容器主体中的、在所述密闭时与所述衬垫接触的部分局部地清洗的步骤。由此，提供一种晶圆收纳容器的清洗方法及晶圆收纳容器的清洗装置，其能够抑制源自衬垫的微尘(微粒)附着于收纳在晶圆收纳容器的容器主体内的晶圆表面。

公开(公告)号：CN112740368A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN201980060791.8

申请日：2019-09-26

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 大久保裕司 ,  佐藤圣二 ,  有本康浩 ,  田中纪通

IPC: H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种晶圆收纳容器的清洗方法，该晶圆收纳容器具有收纳多个晶圆的容器主体、以及经由衬垫将该容器主体的开口部密闭的盖体，该方法具有将所述容器主体中的、在所述密闭时与所述衬垫接触的部分局部地清洗的步骤。由此，提供一种晶圆收纳容器的清洗方法及晶圆收纳容器的清洗装置，其能够抑制源自衬垫的微尘(微粒)附着于收纳在晶圆收纳容器的容器主体内的晶圆表面。