公开(公告)号：CN103936010A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201410092928.7

申请日：2010-10-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 祢津茂义 ,  黑谷伸一 ,  小黑晓二 ,  久米史高 ,  平原胜

IPC: C01B33/035

CPC classification number: C23C16/458 ,  C01B32/225 ,  C01B33/035 ,  C23C16/24

Abstract: 本发明涉及碳电极和多晶硅棒的制造装置，本发明提供在多晶硅棒气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生具有很好抑制效果的技术。碳电极（30）的上部电极（31）的上表面侧设有保持硅芯线（5a）的芯线固定器（20）的固定部。上部电极（31）上设有从上表面（33）向下表面（34）贯穿的孔部（贯通孔）（35），作为棒状连结部件的螺栓（36）经由垫圈（37）从上部电极（31）上表面（33）插入该孔部（35），在下部电极（32）被螺纹固定。孔部（35）内与螺栓（36）的直杆部之间的间隙（51），使上部电极（31）可以在与下部电极（32）的上表面的接触面即载置面（图2中为与上部电极31的下表面34相接触的下部电极32的上表面）的面内全方位移动，从而在气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生起到抑制效果。

公开(公告)号：CN102666380B

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201080049198.2

申请日：2010-10-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 祢津茂义 ,  黑谷伸一 ,  小黑晓二 ,  久米史高 ,  平原胜

IPC: C01B33/035 ,  H01L21/203

CPC classification number: C23C16/458 ,  C01B32/225 ,  C01B33/035 ,  C23C16/24

Abstract: 本发明提供在多晶硅棒气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生具有很好抑制效果的技术。碳电极(30)的上部电极(31)的上表面侧设有保持硅芯线(5a)的芯线固定器(20)的固定部。上部电极(31)上设有从上表面(33)向下表面(34)贯穿的孔部(贯通孔)(35)，作为棒状连结部件的螺栓(36)经由垫圈(37)从上部电极(31)上表面(33)插入该孔部(35)，在下部电极(32)被螺纹固定。孔部(35)内与螺栓(36)的直杆部之间的间隙(51)，使上部电极(31)可以在与下部电极(32)的上表面的接触面即载置面(图2中为与上部电极31的下表面34相接触的下部电极32的上表面)的面内全方位移动，从而在气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生起到抑制效果。

公开(公告)号：CN102666380A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080049198.2

申请日：2010-10-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 祢津茂义 ,  黑谷伸一 ,  小黑晓二 ,  久米史高 ,  平原胜

IPC: C01B33/035 ,  H01L21/203

CPC classification number: C23C16/458 ,  C01B32/225 ,  C01B33/035 ,  C23C16/24

Abstract: 本发明提供在多晶硅棒气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生具有很好抑制效果的技术。碳电极(30)的上部电极(31)的上表面侧设有保持硅芯线(5a)的芯线固定器(20)的固定部。上部电极(31)上设有从上表面(33)向下表面(34)贯穿的孔部(贯通孔)(35)，作为棒状连结部件的螺栓(36)经由垫圈(37)从上部电极(31)上表面(33)插入该孔部(35)，在下部电极(32)被螺纹固定。孔部(35)内与螺栓(36)的直杆部之间的间隙(51)，使上部电极(31)可以在与下部电极(32)的上表面的接触面即载置面(图2中为与上部电极31的下表面34相接触的下部电极32的上表面)的面内全方位移动，从而在气相生长工艺中对可在所有方位伸缩的U形棒的裂缝或破裂的发生起到抑制效果。