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公开(公告)号：CN1197282A
公开(公告)日：1998-10-28
申请号：CN97129751.7
申请日：1997-12-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01J29/82 , H01J9/185 , H01J9/242 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2237/004 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655
Abstract: 使用减少电荷的薄膜涂敷含有电子发射器件的真空容器内的表面,防止因表面的电荷引起的电子束偏离。减少电荷的薄膜包括含有一种或一种以上过渡金属和选自铝、硅或硼的至少一种元素的氮化合物膜。可在减少电荷的层上设置氧化层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1127750C
公开(公告)日：2003-11-12
申请号：CN97129751.7
申请日：1997-12-26
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J29/82 , H01J9/185 , H01J9/242 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2237/004 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655
Abstract: 使用减少电荷的薄膜涂敷含有电子发射器件的真空容器内的表面，防止因表面的电荷引起的电子束偏离。减少电荷的薄膜包括含有一种或一种以上过渡金属和选自铝、硅或硼的至少一种元素的氮化合物膜。可在减少电荷的层上设置氧化层。
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公开(公告)号：CN1114224C
公开(公告)日：2003-07-09
申请号：CN98117973.8
申请日：1998-07-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/185 , H01J9/242 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655 , H01J2329/866
Abstract: 一种电子束装置，有带有电子发射部分的第一基板，面对第一基板的第二基板，和在第一和第二基板之间设置的元件，其中该元件是用于维持第一和第二基板之间距离的隔板，至少在元件的表面上形成氮化碳，以抑制元件上的电荷，或抑制电荷量的变化，从而抑制电子束轨道偏离期望的轨道。
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公开(公告)号：CN1195184A
公开(公告)日：1998-10-07
申请号：CN98106109.5
申请日：1998-03-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/242 , H01J9/185 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655 , H01J2329/866
Abstract: 图象形成装置包括一个电子源,带有其上设计有多个电子发射器件的基板,一个屏板带有用于辐射不同色彩的光的荧光物且在由电子发射装置发射的电子的辐射时形成彩色图象。在基板和屏板之间放置有矩形的支撑隔板,并被固定到屏板,且经过软部件和基板接触。
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公开(公告)号：CN1143357C
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：CN98106109.5
申请日：1998-03-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/242 , H01J9/185 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655 , H01J2329/866
Abstract: 一种图象形成装置，包括：多个电子发射器件；图象形成部件，用于根据所述的电子发射器件发射的电子的辐射形成图象；和支撑隔板，放置在所述的图象形成部件和对着该图象形成部件的部件之间，其中该支撑隔板由结合材料固定到所述的图象形成部件侧，并且与所述的对着该图象形成部件的部件通过软部件相接触，每个软部件是比所述支撑隔板和所述被接触部件软的部件。
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公开(公告)号：CN1214527A
公开(公告)日：1999-04-21
申请号：CN98117973.8
申请日：1998-07-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/185 , H01J9/242 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655 , H01J2329/866
Abstract: 一种电子束装置,有带有电子发射部分的第一基板,面对第一基板的第二基板,和在第一和第二基板之间设置的元件,其中,至少在元件的表面上形成氮化碳,以抑制元件上的电荷,或抑制电荷量的变化,从而抑制电子束轨道偏离期望的轨道。
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