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公开(公告)号：CN101713066B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN200910204460.5
申请日：2009-09-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C16/448 , H01L21/00 , H01L51/56
CPC classification number: B32B37/08 , B32B37/0046 , B32B2037/246 , B32B2309/02 , B32B2309/62 , B32B2457/206 , C23C14/12 , Y10T156/10
Abstract: 一种用于沉积膜的方法、膜沉积装置和用于制造包含有机材料的膜的方法，所述用于沉积膜的方法包括准备通过升华而被提纯的沉积材料，在降低含水量的环境中固化已提纯的沉积材料，通过降低含水量的环境将已固化的沉积材料输送至膜沉积室中，在膜沉积室中将已固化的沉积材料的膜沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN101713066A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200910204460.5
申请日：2009-09-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C16/448 , H01L21/00 , H01L51/56
CPC classification number: B32B37/08 , B32B37/0046 , B32B2037/246 , B32B2309/02 , B32B2309/62 , B32B2457/206 , C23C14/12 , Y10T156/10
Abstract: 一种用于沉积膜的方法、膜沉积装置和用于制造包含有机材料的膜的方法，所述用于沉积膜的方法包括准备通过升华而被提纯的沉积材料，在降低含水量的环境中固化已提纯的沉积材料，通过降低含水量的环境将已固化的沉积材料输送至膜沉积室中，在膜沉积室中将已固化的沉积材料的膜沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN101381859B
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200810214894.9
申请日：2008-09-03
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12
Abstract: 在衬底上形成有机化合物的膜的气相沉积方法中，加热填充有气相沉积材料的材料容纳部分，从而蒸发或升华所述气相沉积材料，并将气相沉积材料通过连接到材料容纳部分的多个管道排出到真空腔的膜形成空间，并且具有不同的电导系数的多个管道中的具有较小的电导系数的管道设置有用于控制释放到所述真空腔中的气相沉积材料的量的流量调整机构，由此可以细微地调整膜形成速度；以及相应的气相沉积系统。
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公开(公告)号：CN101381859A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200810214894.9
申请日：2008-09-03
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12
Abstract: 在衬底上形成有机化合物的膜的气相沉积方法中，加热填充有气相沉积材料的材料容纳部分，从而蒸发或升华所述气相沉积材料，并将气相沉积材料通过连接到材料容纳部分的多个管道排出到真空腔的膜形成空间，并且具有不同的电导系数的多个管道中的具有较小的电导系数的管道设置有用于控制释放到所述真空腔中的气相沉积材料的量的流量调整机构，由此可以细微地调整膜形成速度；以及相应的气相沉积系统。
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