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公开(公告)号：CN1628982A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN200410081989.X
申请日：2004-12-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/14145 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , Y10T428/24331 , Y10T428/24479 , Y10T428/24562 , Y10T428/2457 , Y10T428/24612
Abstract: 一种梁，该梁具有一个由单晶硅制成的基底材料和至少一个凸起，凸起被一体制成，凸起的至少一端受到支撑，凸起包括两个具有定向平面(111)的表面，该梁包括：一个底面，该底面位于一个与基底材料共面的平面内；一个沟槽，该沟槽从底面贯穿到凸起的顶部；和一个保护部件，该保护部件对各向异性晶体蚀刻液体具有耐受性并覆盖着沟槽的一个内壁。
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公开(公告)号：CN101952764B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200980105493.2
申请日：2009-02-20
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G02B26/105 , G02B26/085 , H03H9/02259 , H03H9/02362 , H03H9/2457 , H03H2009/02511 , Y10T74/18856
Abstract: 一种振荡结构包括：支撑部件；第一振荡部件；第二振荡部件；第一弹性支撑部件，被构造用于连接支撑部件与第一振荡部件，以及用于支撑第一振荡部件以便该第一振荡部件绕所述支撑部件作为中心轴线振荡运动；以及第二弹性支撑部件，被构造用于连接第一振荡部件与第二振荡部件，以及用于相对于第一振荡部件能够运动地支撑第二振荡部件，其中，第一弹性支撑部件从支撑部件延伸至第一振荡部件的方向与第二弹性支撑部件从第一振荡部件延伸至第二振荡部件的方向彼此相反。
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公开(公告)号：CN1326702C
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN200410081989.X
申请日：2004-12-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/14145 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , Y10T428/24331 , Y10T428/24479 , Y10T428/24562 , Y10T428/2457 , Y10T428/24612
Abstract: 一种梁，该梁具有一个由单晶硅制成的基底材料和至少一个凸起，凸起被一体制成，凸起的至少一端受到支撑，凸起包括两个具有定向平面(111)的表面，该梁包括：一个底面，该底面位于一个与基底材料共面的平面内；一个沟槽，该沟槽从底面贯穿到凸起的顶部；和一个保护部件，该保护部件对各向异性晶体蚀刻液体具有耐受性并覆盖着沟槽的一个内壁。
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公开(公告)号：CN101952764A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200980105493.2
申请日：2009-02-20
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G02B26/105 , G02B26/085 , H03H9/02259 , H03H9/02362 , H03H9/2457 , H03H2009/02511 , Y10T74/18856
Abstract: 一种振荡结构包括：支撑部件；第一振荡部件；第二振荡部件；第一弹性支撑部件，被构造用于连接支撑部件与第一振荡部件，以及用于支撑第一振荡部件以便该第一振荡部件绕所述支撑部件作为中心轴线振荡运动；以及第二弹性支撑部件，被构造用于连接第一振荡部件与第二振荡部件，以及用于相对于第一振荡部件能够运动地支撑第二振荡部件，其中，第一弹性支撑部件从支撑部件延伸至第一振荡部件的方向与第二弹性支撑部件从第一振荡部件延伸至第二振荡部件的方向彼此相反。
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