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公开(公告)号：CN1574178A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410046092.3
申请日：2004-06-04
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/185 , H01J9/242 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655 , H01J2329/866
Abstract: 一种电子束装置，其中具有涂敷基底材料表面的高电阻薄膜的隔离件插入在具有电子发射元件和行方向导线的后板，与具有金属背壳的面板之间。行方向导线和金属背壳经由高电阻薄膜电连接。隔离件附近的电子发射元件附近的电场保持基本上恒定，不管隔离件与隔离件附近的电子发射元件之间的位置关系。当面向行方向导线的隔离件的第一衬面上的高电阻薄膜的方片电阻值由R1表示，并且邻近于电子发射元件的侧面上的高电阻薄膜的方片电阻值由R2表示时，R2/R1是10－200。
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公开(公告)号：CN1335999A
公开(公告)日：2002-02-13
申请号：CN00801304.7
申请日：2000-01-19
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/027 , H01J2209/0223
Abstract: 在使用电子发射元件特别是表面传导型电子发射元件的图像形成装置(电子束装置)的制造工艺中,其上形成布线和元件电极的电子源衬底上的布线与面板的电极相对,在布线与电极之间施加规定电压,从而预先产生放电现象,于是可消除突起等。以这种方式,当对电子源进行电场施加工艺时,就可消除在驱动以图像形成装置为代表的电子束装置中会引起电子源中放电现象的如突起之类的因素,从而实现即使长时间进行图像显示,其显示特性也优良且没有像素缺陷的图像形成装置。
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公开(公告)号：CN102956422A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210296046.3
申请日：2012-08-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: G21K1/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J7/183 , H01J7/186 , H01J37/09 , H01J37/18 , H01J37/3177
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子束形成带孔部件和带电粒子束曝光装置。形成带电粒子束的带孔部件在带孔部件的表面上包含不可蒸发吸气剂。不可蒸发吸气剂被设置在受带电粒子束照射的位置中。驱动带电粒子源时在带电粒子源周围的排气性能的劣化被抑制。
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公开(公告)号：CN101499394B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200910009707.8
申请日：2009-01-23
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/261 , H01J9/385 , H01J29/94 , H01J31/127 , H01J2209/385 , H01J2329/945
Abstract: 本发明公开了一种真空气密容器的制造方法。为了提供一种能够活化具有不同活化温度的不可蒸发性吸气剂而不用提供给予要用于烘烤处理中的热以外的外部能量的处理的真空气密容器的制造方法，根据本发明的真空气密容器的制造方法包括通过将减压气氛中的温度升高直至第一NEG被活化的温度T1而仅活化第一NEG的步骤2，并且还包括在活化第一NEG之后通过将减压气氛中的温度升高直至第二NEG被活化的温度T2而活化第二NEG的步骤4。步骤2和步骤4在烘烤步骤中结束。
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公开(公告)号：CN100347806C
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200510004651.9
申请日：2005-01-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J29/028 , H01J29/864 , H01J2329/863 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/865 , H01J2329/8665
Abstract: 本发明的目的是在使用电阻膜覆盖的隔离片以图防止隔离片带电时，防止相邻接电子发射元件所发射的电子束的不规则偏移。其解决的方法是：沿着与第一基板(1)的多个电子发射元件(8)目连接的行方向布线(5)上配置隔离片(3)，设置在隔离片(3)的表面上的电阻膜(14)分别与第二基板(2)的金属背衬等的导电构件(11)和第一基板(1)上的行方向布线(5)电连接，而电阻膜(14)和行方向布线(5)、或者电阻膜(14)与导电构件(11)的接触面的形状具有大致对称于隔离片(3)中心线的凹或凸形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100565768C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200510080907.4
申请日：2005-06-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 安藤洋一
IPC: H01J31/12
CPC classification number: H01J9/242 , H01J1/316 , H01J9/185 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655 , H01J2329/8665
Abstract: 提供一种使用通过用高电阻膜包覆而防止带电的间隔物时，防止从与间隔物相邻的电子发射元件发射的电子束轨道的偏移，能够进行良好的图像显示的图像形成装置。通过在配置间隔物3的行方向布线5的表面形成微粒膜，控制表面形状，从间隔物3和行方向布线5的非接触区域16的接触区域15a、15b附近的电子发射区域14a、14b进行电子发射，向间隔物3的非接触区域16照射电子使电位下降，形成良好的等电位线17。
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公开(公告)号：CN101499394A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200910009707.8
申请日：2009-01-23
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/261 , H01J9/385 , H01J29/94 , H01J31/127 , H01J2209/385 , H01J2329/945
Abstract: 本发明公开了一种真空气密容器的制造方法。为了提供一种能够活化具有不同活化温度的不可蒸发性吸气剂而不用提供给予要用于烘烤处理中的热以外的外部能量的处理的真空气密容器的制造方法，根据本发明的真空气密容器的制造方法包括通过将减压气氛中的温度升高直至第一NEG被活化的温度T1而仅活化第一NEG的步骤2，并且还包括在活化第一NEG之后通过将减压气氛中的温度升高直至第二NEG被活化的温度T2而活化第二NEG的步骤4。步骤2和步骤4在烘烤步骤中结束。
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公开(公告)号：CN1725427A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200510080907.4
申请日：2005-06-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 安藤洋一
IPC: H01J31/12
CPC classification number: H01J9/242 , H01J1/316 , H01J9/185 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655 , H01J2329/8665
Abstract: 提供一种使用通过用高电阻膜包覆而防止带电的间隔物时，防止从与间隔物相邻的电子发射元件发射的电子束轨道的偏移，能够进行良好的图像显示的图像形成装置。通过在配置间隔物3的行方向布线5的表面形成微粒膜，控制表面形状，从间隔物3和行方向布线5的非接触区域16的接触区域15a、15b附近的电子发射区域14a、14b进行电子发射，向间隔物3的非接触区域16照射电子使电位下降，形成良好的等电位线17。
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公开(公告)号：CN1705071A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200510074218.2
申请日：2005-05-31
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 安藤洋一
CPC classification number: H01J29/04 , H01J1/316 , H01J29/028 , H01J29/864 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H01J2329/8625 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8665
Abstract: 提供一种图像显示装置，目的是在不改变隔离物的设计的情况下补偿由于隔离物引起的电子束的不规则偏离。把固定有形成了多个发射电子的电子发射元件(8)的电子源基板(9)的背面板(1)、和形成了用来加速上述电子的金属背板(11)的前面板(2)对置配置，用隔离物(3)以一定的间隔支撑这些面板，从电子发射元件(8)发射的电子的初速矢量随与隔离物(3)的距离不同而不同。
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公开(公告)号：CN1222975C
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN00801304.7
申请日：2000-01-19
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/027 , H01J2209/0223
Abstract: 在使用电子发射元件特别是表面传导型电子发射元件的图像形成装置(电子束装置)的制造工艺中，其上形成布线和元件电极的电子源衬底上的布线与面板的电极相对，在布线与电极之间施加规定电压，从而预先产生放电现象，于是可消除突起等。以这种方式，当对电子源进行电场施加工艺时，就可消除在驱动以图像形成装置为代表的电子束装置中会引起电子源中放电现象的如突起之类的因素，从而实现即使长时间进行图像显示，其显示特性也优良且没有像素缺陷的图像形成装置。
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