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公开(公告)号：CN102201318A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110068183.7
申请日：2011-03-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J31/127 , H01J29/94 , H01J2329/948 , Y10T428/12812
Abstract: 本发明提供用于场发射显示器的非蒸发性吸气体，其可以去除多种类型的气体。用于FED的非蒸发性吸气体具有包含钛的第一层，和在第一层上层叠的包含结晶锆的第二层。结晶锆的结晶颗粒尺寸的平均值为3nm或更大但20nm或更小。
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公开(公告)号：CN105914120B
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201610267120.7
申请日：2014-03-12
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J35/18 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H05G1/06
Abstract: 本公开涉及X射线产生靶、放射线产生管、放射线产生设备和放射线照相系统。提供了放射线发射靶、放射线产生装置以及放射线照相系统，其中靶层和金刚石基板之间的粘合性被提高，并且展现稳定的放射线发射性能。X射线产生靶包括靶层、包含sp2键的含碳区域、以及支撑该靶层的金刚石基板。含碳区域被定位在该靶层和金刚石基板之间。
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公开(公告)号：CN104701118B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201410740256.6
申请日：2014-12-05
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01J35/04
CPC classification number: H01J35/08 , C23C16/01 , C23C16/27 , G01N23/04 , H01J35/045 , H01J2235/02 , H01J2235/081 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H01J2235/186
Abstract: 本公开内容涉及透射型靶和设有透射型靶的X射线发生管。透射型靶包括靶层和被配置为支撑该靶层的透射基板。透射基板具有彼此面对的一对表面，并且由多晶金刚石形成。在透射基板中，所述一对表面中的一个表面包括具有第一平均晶粒直径的多晶金刚石，第一平均晶粒直径小于与该表面相对的另一个表面上所包括的多晶金刚石的第二平均晶粒直径。靶层由所述一对表面中的任何一个表面支撑。
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公开(公告)号：CN107068522A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710167652.8
申请日：2014-12-05
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J35/08 , C23C16/01 , C23C16/27 , G01N23/04 , H01J35/045 , H01J2235/02 , H01J2235/081 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H01J2235/186 , H01J35/02 , H01J35/04
Abstract: 本公开内容涉及透射型靶和设有透射型靶的X射线发生管。透射型靶包括靶层和被配置为支撑该靶层的透射基板。透射基板具有彼此面对的一对表面，并且由多晶金刚石形成。在透射基板中，所述一对表面中的一个表面包括具有第一平均晶粒直径的多晶金刚石，第一平均晶粒直径小于与该表面相对的另一个表面上所包括的多晶金刚石的第二平均晶粒直径。靶层由所述一对表面中的任何一个表面支撑。
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公开(公告)号：CN104051206B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201410088659.7
申请日：2014-03-12
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J35/18 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H05G1/06
Abstract: 本公开涉及透射型靶、放射线产生管、放射线产生设备和放射线照相系统。提供了放射线发射靶、放射线产生装置以及放射线照相系统，其中靶层和金刚石基板之间的粘合性被提高，并且展现稳定的放射线发射性能。透射型靶包括靶层、包含sp2键的含碳区域、以及支撑该靶层的金刚石基板。含碳区域被定位在该靶层和金刚石基板之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104701118A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410740256.6
申请日：2014-12-05
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01J35/04
CPC classification number: H01J35/08 , C23C16/01 , C23C16/27 , G01N23/04 , H01J35/045 , H01J2235/02 , H01J2235/081 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H01J2235/186
Abstract: 本公开内容涉及透射型靶和设有透射型靶的X射线发生管。透射型靶包括靶层和被配置为支撑该靶层的透射基板。透射基板具有彼此面对的一对表面，并且由多晶金刚石形成。在透射基板中，所述一对表面中的一个表面包括具有第一平均晶粒直径的多晶金刚石，第一平均晶粒直径小于与该表面相对的另一个表面上所包括的多晶金刚石的第二平均晶粒直径。靶层由所述一对表面中的任何一个表面支撑。
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公开(公告)号：CN107068522B
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201710167652.8
申请日：2014-12-05
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本公开内容涉及透射型靶和设有透射型靶的X射线发生管。透射型靶包括靶层和被配置为支撑该靶层的透射基板。透射基板具有彼此面对的一对表面，并且由多晶金刚石形成。在透射基板中，所述一对表面中的一个表面包括具有第一平均晶粒直径的多晶金刚石，第一平均晶粒直径小于与该表面相对的另一个表面上所包括的多晶金刚石的第二平均晶粒直径。靶层由所述一对表面中的任何一个表面支撑。
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公开(公告)号：CN105914120A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610267120.7
申请日：2014-03-12
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J35/18 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H05G1/06 , H01J35/02 , A61N5/10 , H01J9/02 , H01J35/08 , H01J35/24
Abstract: 本公开涉及X射线产生靶、放射线产生管、放射线产生设备和放射线照相系统。提供了放射线发射靶、放射线产生装置以及放射线照相系统，其中靶层和金刚石基板之间的粘合性被提高，并且展现稳定的放射线发射性能。X射线产生靶包括靶层、包含sp2键的含碳区域、以及支撑该靶层的金刚石基板。含碳区域被定位在该靶层和金刚石基板之间。
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公开(公告)号：CN104051206A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410088659.7
申请日：2014-03-12
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J35/18 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H05G1/06
Abstract: 本公开涉及透射型靶、放射线产生管、放射线产生设备和放射线照相系统。提供了放射线发射靶、放射线产生装置以及放射线照相系统，其中靶层和金刚石基板之间的粘合性被提高，并且展现稳定的放射线发射性能。透射型靶包括靶层、包含sp2键的含碳区域、以及支撑该靶层的金刚石基板。含碳区域被定位在该靶层和金刚石基板之间。
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公开(公告)号：CN102956422A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210296046.3
申请日：2012-08-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: G21K1/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J7/183 , H01J7/186 , H01J37/09 , H01J37/18 , H01J37/3177
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子束形成带孔部件和带电粒子束曝光装置。形成带电粒子束的带孔部件在带孔部件的表面上包含不可蒸发吸气剂。不可蒸发吸气剂被设置在受带电粒子束照射的位置中。驱动带电粒子源时在带电粒子源周围的排气性能的劣化被抑制。
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