公开(公告)号：CN106103381A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201580014165.7

申请日：2015-01-30

Applicant: 住友金属矿山株式会社

Inventor： 曾我部健太郎 ,  安东勲雄 ,  小泽诚

IPC: C04B35/00 ,  C04B35/16 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34

CPC classification number: C04B35/16 ,  C04B35/01 ,  C04B35/6261 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/728 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/95 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9623 ,  C23C14/08 ,  C23C14/3414

Abstract: 提供：制造稳定性、成膜稳定性、放电稳定性和机械强度优异的氧化物烧结体和其制造方法、以及使用该氧化物烧结体得到的具有中间折射率的氧化物膜。制造包含In和Si、且Si的含量以Si/In原子数比计为0.65以上且1.75以下、相对密度为90％以上、弯曲强度为90N/mm2以上的氧化物烧结体，利用使用该氧化物烧结体的溅射法制作折射率1.70以上且1.90以下的氧化物膜。