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公开(公告)号：CN102471871B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201080034709.3
申请日：2010-06-17
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大城梓
CPC classification number: C04B35/01 , C01G15/00 , C01P2002/52 , C01P2004/03 , C04B35/6263 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/62695 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/5445 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6567 , C04B2235/658 , C04B2235/77 , C04B2235/783 , C04B2235/786 , C23C14/086 , C23C14/24
Abstract: 本发明的蒸镀用片材，其特征在于，在氧化铟烧结体的断裂面上出现的晶粒的粒度分布中，构成最大峰的粒径的晶粒所占的比率为20％以下。并且，所述蒸镀用片材通过包括下列工序的方法来进行制造：第一工序，混合氧化铟粉末和氧化铈粉末，并在1300℃以上且1550℃以下进行热处理，由此获得煅烧粉末；第二工序，在所获得的煅烧粉末中，以使上述煅烧粉末的比率成为50质量％以上且80质量％以下的方式，混合未煅烧的氧化铟粉末和/或氧化铈粉末并且进行造粒，由此获得造粒粉末；以及第三工序，使所获得的造粒粉末成型为成型体，将该成型体在1100℃以上且1350℃以下并且与第一工序中的煅烧粉末的热处理温度相比低200℃以上的温度下进行烧结，由此获得作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体。
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公开(公告)号：CN102812150A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180014684.5
申请日：2011-02-21
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: C23C14/30 , C01G19/00 , C01P2004/61 , C01P2006/62 , C04B35/01 , C04B35/62625 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/604 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/786 , C23C14/086 , C23C14/32
Abstract: 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟为主要成分且以Sn/In原子数比计含有0.001～0.614的锡的氧化物烧结体构成，且CIE1976色度系统中的L*值为54～75。L*值为54～75的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽导入的氧气量少，也可以通过真空蒸镀法制造出低电阻且在可见区具有高透过性的透明导电膜，并且由于氧气的导入量少，可以缩小膜与蒸镀材料之间的组成差，也可减少批量生产时膜组成的变动和特性的变动。
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公开(公告)号：CN102712995A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201180007032.9
申请日：2011-01-07
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
Abstract: 本发明的目的是提供一种蒸镀用氧化物片（氧化物蒸镀材料）、使用该蒸镀用氧化物片制造的蒸镀薄膜以及太阳能电池。上述片由烧结体构成，所述烧结体以氧化铟为主要成分且含铈，并且没有进行烧结后的表面研磨加工，其特征在于，在将从烧结体表面到5μm的深度为止的表面层中的铈含量设为Ce/In原子数比（CompS）、烧结体整体中的铈含量的平均值设为Ce/In原子数比（CompA）时，CompS/CompA=0.9～1.1。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102712995B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201180007032.9
申请日：2011-01-07
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: C23C14/08 , C23C14/24 , C04B35/01 , C04B35/64 , H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/0749
CPC classification number: H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
Abstract: 本发明的目的是提供一种蒸镀用氧化物片（氧化物蒸镀材料）、使用该蒸镀用氧化物片制造的蒸镀薄膜以及太阳能电池。上述片由烧结体构成，所述烧结体以氧化铟为主要成分且含铈，并且没有进行烧结后的表面研磨加工，其特征在于，在将从烧结体表面到5μm的深度为止的表面层中的铈含量设为Ce/In原子数比（CompS）、烧结体整体中的铈含量的平均值设为Ce/In原子数比（CompA）时，CompS/CompA=0.9～1.1。
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公开(公告)号：CN102471871A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080034709.3
申请日：2010-06-17
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大城梓
CPC classification number: C04B35/01 , C01G15/00 , C01P2002/52 , C01P2004/03 , C04B35/6263 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/62695 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/5445 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6567 , C04B2235/658 , C04B2235/77 , C04B2235/783 , C04B2235/786 , C23C14/086 , C23C14/24
Abstract: 本发明的蒸镀用片材，其特征在于，在氧化铟烧结体的断裂面上出现的晶粒的粒度分布中，构成最大峰的粒径的晶粒所占的比率为20％以下。并且，所述蒸镀用片材通过包括下列工序的方法来进行制造：第一工序，混合氧化铟粉末和氧化铈粉末，并在1300℃以上且1550℃以下进行热处理，由此获得煅烧粉末；第二工序，在所获得的煅烧粉末中，以使上述煅烧粉末的比率成为50质量％以上且80质量％以下的方式，混合未煅烧的氧化铟粉末和/或氧化铈粉末并且进行造粒，由此获得造粒粉末；以及第三工序，使所获得的造粒粉末成型为成型体，将该成型体在1100℃以上且1350℃以下并且与第一工序中的煅烧粉末的热处理温度相比低200℃以上的温度下进行烧结，由此获得作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体。
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公开(公告)号：CN102102173B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201010559242.6
申请日：2010-11-22
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: C23C14/08 , C23C14/24 , H01L31/0224
CPC classification number: H01B1/08 , C04B35/01 , C04B2235/3229 , C04B2235/3256 , C04B2235/3258 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/608 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/658 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/9646 , C23C14/08 , C23C14/3414 , C23C30/005 , H01L31/022466 , H01L31/022475 , H01L31/0749 , H01L31/1884 , Y02E10/541
Abstract: 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟为主要成分且以Ce/In原子数比计含0.001～0.110的铈的烧结体构成，且CIE1976表色系中的L*值为62～95。L*值为62～95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽导入的氧气量少的情况下，也能够通过真空蒸镀法制造出低电阻且在可见光到近红外区域具有高透过性的透明导电膜，且由于氧气导入量少，能够缩小膜与蒸镀材料之间的组成差，由此，也能够减少批量生产时膜组成的变动和特性的变动。
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公开(公告)号：CN102812150B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201180014684.5
申请日：2011-02-21
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: C23C14/30 , C01G19/00 , C01P2004/61 , C01P2006/62 , C04B35/01 , C04B35/62625 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/604 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/786 , C23C14/086 , C23C14/32
Abstract: 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟为主要成分且以Sn/In原子数比计含有0.001～0.614的锡的氧化物烧结体构成，且CIE1976色度系统中的L*值为54～75。L*值为54～75的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽导入的氧气量少，也可以通过真空蒸镀法制造出低电阻且在可见区具有高透过性的透明导电膜，并且由于氧气的导入量少，可以缩小膜与蒸镀材料之间的组成差，也可减少批量生产时膜组成的变动和特性的变动。
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公开(公告)号：CN102102173A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010559242.6
申请日：2010-11-22
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: C23C14/08 , C23C14/24 , H01L31/0224
CPC classification number: H01B1/08 , C04B35/01 , C04B2235/3229 , C04B2235/3256 , C04B2235/3258 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/608 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/658 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/9646 , C23C14/08 , C23C14/3414 , C23C30/005 , H01L31/022466 , H01L31/022475 , H01L31/0749 , H01L31/1884 , Y02E10/541
Abstract: 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟为主要成分且以Ce/In原子数比计含0.001～0.110的铈的烧结体构成，且CIE1976表色系中的L*值为62～95。L*值为62～95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽导入的氧气量少的情况下，也能够通过真空蒸镀法制造出低电阻且在可见光到近红外区域具有高透过性的透明导电膜，且由于氧气导入量少，能够缩小膜与蒸镀材料之间的组成差，由此，也能够减少批量生产时膜组成的变动和特性的变动。
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