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公开(公告)号：CN1215380C
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN02119045.3
申请日：1997-05-12
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/022 , G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0755 , G03F7/0757 , Y10S430/107
Abstract: 公开了一种正型光敏树脂组合物，它包括(A)100重量份的式(1)聚酰胺，(B)1-100重量份光敏重氮醌化合物以及(C)1-50重量份具有特定结构的酚化合物和/或(D)0.1-20重量份具有特定结构式的有机硅化合物，其中各取代基如说明书中所述。还公开了一种半导体装置，其中在半导体元件上形成了厚度0.1-20μm的用上述光敏树脂组合物得到的聚苯并噁唑树脂图案。
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公开(公告)号：CN1381768A
公开(公告)日：2002-11-27
申请号：CN02119045.3
申请日：1997-05-12
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0755 , G03F7/0757 , Y10S430/107
Abstract: 公开了一种正型光敏树脂组合物,它包括(A)100重量份的式(1)聚酰胺,(B)1－100重量份光敏重氮醌化合物以及(C)1－50重量份具有特定结构的酚化合物和/或(D)0.1－20重量份具有特定结构式的有机硅化合物,其中各取代基如说明书中所述。还公开了一种半导体装置,其中在半导体元件上形成了厚度0.1－20μm的用上述光敏树脂组合物得到的聚苯并噁唑树脂图案。
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公开(公告)号：CN102084296A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200980125721.2
申请日：2009-06-19
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0226
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种不发生浮渣、高感光度且高分辨率的正型感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有：特定的聚酰胺系树脂(A)；由特定的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸及1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯的至少一者的酯所构成的感光剂(B)。又，本发明的固化膜的特征在于，由上述的正型感光性树脂组合物的固化物所构成。又，本发明的保护膜和绝缘膜的特征在于，由上述固化膜所构成。又，本发明的半导体装置及显示器装置的特征在于，具有上述的固化膜。
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公开(公告)号：CN101681100A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200980000023.X
申请日：2009-01-07
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G69/42 , G03F7/022 , G03F7/0757
Abstract: 本发明的目的是在正型感光性树脂组合物的图案化过程中，同时抑制露出部分内浮渣的形成并提高敏感性。该目的可以通过正型感光性树脂组合物来实现，其中，所述正型感光性树脂组合物包含碱溶性树脂(A)和感光剂(B)，碱溶性树脂(A)所含有的分子量≥80,000的成分的含量≤0.5％；其中，相对于100重量份的所述碱溶性树脂(A)，所述感光剂(B)的量为10重量份～40重量份。
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公开(公告)号：CN1165980A
公开(公告)日：1997-11-26
申请号：CN97111184.7
申请日：1997-05-12
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/022
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0755 , G03F7/0757 , Y10S430/107
Abstract: 公开了一种正型光敏树脂组合物，它包括(A)100重量份的式(1)聚酰胺，(B)1-100重量份光敏重氮醌化合物以及(C)1-50重量份具有特定结构的酚化合物和/或(D)0.1-20重量份具有特定结构式的有机硅化合物，其中各取代基如说明书中所述。还公开了一种半导体装置，其中在半导体元件上形成了厚度0.1-20μm的用上述光敏树脂组合物得到的聚苯并噁唑树脂图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103250099A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201180046667.X
申请日：2011-09-28
Applicant: 普罗米鲁斯有限责任公司 , 住友电木株式会社
IPC: G03F7/023 , C07C39/17 , C07C309/71 , G03F7/40
CPC classification number: G03F7/022 , C07C39/17 , C07C43/1782 , C07C43/1783 , C07C43/1788 , C07C245/12 , C07C309/71 , C07C2601/16 , C07C2602/10 , C07C2602/24 , C07C2603/86 , G03F7/023 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明的实施方案提供降冰片烷-类ballast材料，由这一ballast材料衍生的降冰片烷-类光活性化合物，和包括这一降冰片烷-类光活性化合物和PBO或PNB树脂之一的碱可溶的正色调聚合物组合物。
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公开(公告)号：CN100354756C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN02103244.0
申请日：2002-01-30
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/023
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/0233
Abstract: 本发明提供可制得高分辨率、高残膜率的图形而且感光度提高的正型感光性树脂组合物。即本发明提供含100重量份聚酰胺树脂和1～50重量份用如下述式所表示的感光物质(Q-1)的正型感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN1435729A
公开(公告)日：2003-08-13
申请号：CN02103244.0
申请日：2002-01-30
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/023
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/0233
Abstract: 本发明提供可制得高分辨率、高残膜率的图形而且感光度提高的正型感光性树脂组合物。即本发明提供含100重量份聚酰胺树脂和1～50重量份用如右式所表示的感光物质(Q－1)的正型感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN1113273C
公开(公告)日：2003-07-02
申请号：CN97111184.7
申请日：1997-05-12
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/022 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0755 , G03F7/0757 , Y10S430/107
Abstract: 公开了一种正型光敏树脂组合物，它包括(A)100重量份的式(1)聚酰胺，(B)1-100重量份光敏重氮醌化合物以及(C)1-50重量份具有特定结构的酚化合物和/或(D)0.1-20重量份具有特定结构式的有机硅化合物，其中各取代基如说明书中所述。还公开了一种半导体装置，其中在半导体元件上形成了厚度0.1-20μm的用上述光敏树脂组合物得到的聚苯并噁唑树脂图案。
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公开(公告)号：CN103250099B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201180046667.X
申请日：2011-09-28
Applicant: 普罗米鲁斯有限责任公司 , 住友电木株式会社
IPC: G03F7/023 , C07C39/17 , C07C309/71 , G03F7/40
CPC classification number: G03F7/022 , C07C39/17 , C07C43/1782 , C07C43/1783 , C07C43/1788 , C07C245/12 , C07C309/71 , C07C2601/16 , C07C2602/10 , C07C2602/24 , C07C2603/86 , G03F7/023 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明的实施方案提供降冰片烷-类ballast材料，由这一ballast材料衍生的降冰片烷-类光活性化合物，和包括这一降冰片烷-类光活性化合物和PBO或PNB树脂之一的碱可溶的正色调聚合物组合物。
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