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公开(公告)号：CN102016718A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980116236.9
申请日：2009-04-28
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: G03F7/085 , C08G77/60 , C08L77/06 , C08L83/16 , C08L2203/20 , C09D177/06 , G03F7/0226 , G03F7/0751 , G03F7/0755 , G03F7/40 , C08L83/00
Abstract: 一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱溶性树脂(A)、感光剂(B)和通式(1)所示的硅化合物(C)。式(1)中，R1是碳原子数为5～30的亚烷基或至少具有一个以上的芳香环的有机基，R2是碳原子数为1～10的烷基。基于本发明，能够提供一种显影工序后的涂膜粘附性优良以及湿度处理后的固化膜与基板之间的粘附性优良，并且保存稳定性优良的正型感光性树脂组合物。(R2O)3-Si-R1-Si-(OR2)3 (1)。
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公开(公告)号：CN102084296A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200980125721.2
申请日：2009-06-19
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0226
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种不发生浮渣、高感光度且高分辨率的正型感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有：特定的聚酰胺系树脂(A)；由特定的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸及1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯的至少一者的酯所构成的感光剂(B)。又，本发明的固化膜的特征在于，由上述的正型感光性树脂组合物的固化物所构成。又，本发明的保护膜和绝缘膜的特征在于，由上述固化膜所构成。又，本发明的半导体装置及显示器装置的特征在于，具有上述的固化膜。
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公开(公告)号：CN102084296B
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN200980125721.2
申请日：2009-06-19
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0226
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种不发生浮渣、高感光度且高分辨率的正型感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有：特定的聚酰胺系树脂(A)；由特定的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸及1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯的至少一者的酯所构成的感光剂(B)。又，本发明的固化膜的特征在于，由上述的正型感光性树脂组合物的固化物所构成。又，本发明的保护膜和绝缘膜的特征在于，由上述固化膜所构成。又，本发明的半导体装置及显示器装置的特征在于，具有上述的固化膜。
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公开(公告)号：CN102016718B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN200980116236.9
申请日：2009-04-28
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: G03F7/085 , C08G77/60 , C08L77/06 , C08L83/16 , C08L2203/20 , C09D177/06 , G03F7/0226 , G03F7/0751 , G03F7/0755 , G03F7/40 , C08L83/00
Abstract: 一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱溶性树脂(A)、感光剂(B)和通式(1)所示的硅化合物(C)。式(1)中，R1是碳原子数为5～30的亚烷基或至少具有一个以上的芳香环的有机基，R2是碳原子数为1～10的烷基。基于本发明，能够提供一种显影工序后的涂膜粘附性优良以及湿度处理后的固化膜与基板之间的粘附性优良，并且保存稳定性优良的正型感光性树脂组合物。(R2O)3-Si-R1-Si-(OR2)3 (1)。
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