公开(公告)号：CN102471407A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080032805.4

申请日：2010-06-25

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 中嶋道男 ,  齐藤英纪 ,  原田隆博 ,  松谷美帆子 ,  多田昌弘 ,  中谷浩司

IPC: C08F138/00 ,  C08F136/00 ,  C08L49/00 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522

CPC classification number: H01L23/5329 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的成膜用组合物是含有具有聚合性官能团的聚合性化合物的成膜用组合物；所述聚合性化合物在分子内具有含有金刚烷型的笼形结构的部分结构和有助于聚合反应的聚合性反应基团；所述聚合性反应基团具有芳香环和直接键合于该芳香环的乙炔基或者乙烯基；在所述聚合性化合物中，相对于该聚合性化合物整体的碳数，来源于所述芳香环的碳数为15％～38％。