振动装置及振动装置的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119586004A

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202380058332.2

    申请日:2023-08-04

    Abstract: 本发明的振动装置具有第1基板、第2基板、中间层及激励电极。第1基板具有第1面。第2基板具有与第1面对置的第2面。中间层位于第1面与第2面之间。第1面具有第1凹部。中间层具有振动部及框部。振动部具有激励电极位于的激励部。激励部与第1凹部对置。框部在俯视下包围振动部,且接合于第1面及第2面。框部包含材料与振动部所包含的层相同的层。振动部的外缘遍及其整周地与框部分开。振动部接合于第1面中的第1凹部的外周区域。

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