一种锡铟合金靶材的塑性变形加工和热处理方法

    公开(公告)号:CN115198239A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210903144.2

    申请日:2022-07-29

    摘要: 一种锡铟合金靶材的塑性变形加工和热处理方法,采用高纯锡锭和高纯铟锭配置锡铟合金靶材成分,控制锡铟合金靶材成分中锡的含量为50%~95wt.%,铟的含量为5%~50wt.%;在电阻炉升温到260℃~300℃后,将高纯锡锭在石墨坩埚中加热熔化后,加入高纯铟锭并搅拌,得到合金熔体;将合金熔体浇铸到钢模中获得合金锭;将合金锭于100±10℃热处理16~24h;然后除去表面氧化皮,再挤压、或锻压、或轧制成型,得到初加工锡铟合金靶材;将初加工锡铟合金靶材进行退火处理,获得等轴形状且晶粒尺寸在30~50μm、晶粒无明显方向性的再结晶晶粒的锡铟合金靶材。本发明可获得高质量的真空溅射镀膜膜层,有利于真空溅射时获得优质膜层,具有广阔的市场前景。