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公开(公告)号：CN117434735A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311455748.6
申请日：2023-11-03
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明涉及一种镜头，具体涉及一种长工作距线光斑整形镜头以及一种线光斑成像系统，包括第一柱面镜组和第二柱面镜组；所述的第一柱面镜组于Y‑Z平面内的光焦度为0，用于会聚X‑Z平面内的光束；所述的第二柱面镜组于X‑Z平面内的光焦度为0，用于会聚Y‑Z平面内的光束；所述的线光斑整形镜头在X‑Z平面内像距大于物距，在Y‑Z平面内物距大于像距；或，所述的线光斑整形镜头在Y‑Z平面内像距大于物距，在X‑Z平面内物距大于像距。与现有技术相比，本发明解决现有技术中形成线光斑的整形镜头工作距离短，无法适配于大体积、工作距离短的成像镜头使用，实现了工作距离长、成像质量好的线光斑整形镜头。
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公开(公告)号：CN116399880A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310236806.X
申请日：2023-03-13
Abstract: 本发明涉及一种晶圆缺陷检测系统，具体涉及一种在线光谱缺陷检测系统及其检测方法，包括暗场光源、待测件、物镜、筒镜和成像机构；还包括半反半透镜、扩束镜、二维振镜、准直透镜、二向色镜、激光光源和光学检测机构；半反半透镜可动的设置于物镜与筒镜之间，且位于荧光的光路的同一水平面内。与现有技术相比，本发明解决现有技术中需要频繁更换滤光片以及每次更换滤光片后需要重新完整扫描的缺陷，实现了在线对重点关注缺陷进行快速荧光光谱分析，有效提高检测效率，并能够降低定位差错的情况。
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公开(公告)号：CN115774326A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211495257.X
申请日：2022-11-26
Abstract: 本发明涉及一种成像系统，具体涉及一种筒镜系统的共焦补偿组件及其使用方法，所述的筒镜系统包括照明装置、样品、物镜、反射镜、筒镜和成像接收器；所述的照明装置朝向样品设置，样品在吸收照明装置发出的激光能量后，发出具有特征波长的光束；所述的物镜、反射镜、筒镜和成像接收器依次设置于样品发出的光束的光路上；所述的反射镜与筒镜之间的光路上还设有带通滤光片；所述的共焦补偿组件为设置于筒镜与成像接收器之间的用于调节成像点位置的调焦设备。与现有技术相比，本发明解决现有技术中双胶合透镜与三胶合透镜难以同时对紫外、可见光、近红外的成像谱段进行消色差和复消色差，实现了对宽波段的激发光进行共焦成像补偿。
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公开(公告)号：CN115375590B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211326022.8
申请日：2022-10-27
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种亮度非均匀性在线补偿的图像处理方法。本发明结合机器视觉缺陷检测场景的特征，通过序列图像提取邻近区域内非均匀性光照在工件表面非缺陷区域上的成像亮度信息，参考光响应非均匀性的校正步骤，设定均匀光照亮度期望值，获得该区域内非均匀亮度的补偿增益参数，实现亮度非均匀性的在线补偿。本发明避免了亮度非均匀性离线补偿方法使用单一视场区域计算补偿增益导致的工件表面其他区域出现过补偿或欠补偿的情况，并避免了FFT滤波等在线图像处理算法导致的图像细节特征失真和无法适应工件边缘图像等问题。
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公开(公告)号：CN115993695A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202310169949.3
申请日：2023-02-27
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/28
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115511749A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211263100.4
申请日：2022-10-14
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于相位信息的差分干涉对比图像去噪方法及装置，针对差分干涉对比图像中的噪声和边界干扰等问题导致的背景亮度值不均匀现象，对傅里叶变换后的图像中的相位信息进行恢复，并对像素值进行非线性映射。本发明实现了图像背景区域的去噪效果，缩小了背景像素值的变化范围，减小后续积分操作中的累积噪声，且不影响目标区域的梯度分布。
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公开(公告)号：CN114975213B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210883762.5
申请日：2022-07-26
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种晶圆对准装置及对准方法。包括光源、成像相机、光路系统、图像处理器、晶圆载物台和二维运动平台；照明光源、成像相机、光路系统、图像处理器安装位置固定，待对准的晶圆置于晶圆载物台上，二维运动平台上安装有晶圆载物台，可实现晶圆的二维移动；通过相机对晶圆载物台上的晶圆实现宽视场快速成像，识别晶圆轮廓并拟合，得到高精度的晶圆定位信息，宽视场成像同时避免了晶圆摆放偏移量过大导致无法对准的问题。本发明的晶圆对准装置和对准方法，没有采用晶圆预对准器和二次对准即可实现高精度的晶圆定位，晶圆通过机械手直接从料盒中运送到载物台上，减少了预对准器的工作站点，能够同时提高晶圆对准的效率。
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公开(公告)号：CN116564874A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310536828.8
申请日：2023-05-10
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/683
Abstract: 本申请涉及一种晶圆载台和设备。晶圆载台包括转接板、真空吸盘和气动阀块。转接板，包括吸附表面和安装表面。所述转接板还包括贯穿的真空孔以及设置于所述安装表面的凹入部。真空吸盘设置于所述吸附表面，与所述转接板可拆卸连接。气动阀块设置于所述凹入部。所述气动阀块由三维打印生成，内部包含可分配真空负压的气路。通过将气道内置在气动阀块中，可以避免在晶圆载台内的狭小空间中安装气管和气动接头，显著降低了安装难度，同时使得结构变得紧凑，明显减小了晶圆载台的体积。
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公开(公告)号：CN116452668A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202211600169.1
申请日：2022-12-13
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种相机安装角度的校正方法。从相机安装角度倾斜引起的图像变换特征出发，根据相机类型对成像图像做仿射变换的逆变换，通过求取对应坐标点距离极小值对应的倾斜角度或旋转角度，从而获得相机安装倾斜的角度。本发明方法对校正图像安装角度无特殊要求，同时适用于线阵相机和面阵相机的安装角度校正，能够通过自动化程序实现在线高效相机安装角度计算和校正。
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公开(公告)号：CN116233610A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211604243.7
申请日：2022-12-13
Applicant: 之江实验室
IPC: H04N23/695 , H04N23/73
Abstract: 本发明公开了一种相机高速成像装置及方法。借鉴TDI相机的时间延迟积分实现原理，将面阵相机固定到运动机构上并使其运动速度匹配物方检测工件的运动速度，使得面阵相机的成像面与检测工件成像区域的像面图像相对静止，从而增加相机曝光积分的时间，提高相机的成像对比度。相比于常规的面阵相机固定安装成像方式，在避免运动模糊的前提下，其最多只能实现相机单像素对应物方视场尺寸所需运动耗时的曝光时间；本发明通过添加相机同步运动机构，能够在不降低检测效率的前提下，将相机的曝光时间提升二至三个数量级。
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