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公开(公告)号：CN113670854B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202110924675.5
申请日：2021-08-12
Abstract: 本发明公开了一种微分干涉对比显微内窥成像系统及内窥成像方法，所述显微内窥成像系统包括照明光源、光导纤维、照明光路模块、成像接收模块和电缆。本发明显著特征是增强被观察物体的对比度，该技术利用微分干涉棱镜生成寻常光(o光)和非寻常光(e光)，由于两束相干光经过物体后改变了光程差，并在像面发生干涉，使样品表面高度的微小变化在干涉背景上以强烈的光强变化表现出来，形成一种浮雕感，可以观形象地反映出样品表面微观轮廓。微分干涉显微技术可以实现对样品表面纳米级的相位分辨率，观察到样品表面的微细结构，有助于帮助医生通过被观测样品的表面起伏特征判断病灶特征做出诊断。
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公开(公告)号：CN112326672B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202011232223.2
申请日：2020-11-06
IPC: G01N21/88 , G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于多色并行移频照明的快速成像系统，包括光源、显微物镜、管镜、多色图像探测器阵列、控制模块和数据处理模块，光源包括垂直照明光源和两组以上倾斜照明光源；同一组倾斜照明光源的照明波长相同，不同组倾斜照明光源的照明波长不同；垂直照明光源的照明波长与任一组倾斜照明光源的照明波长不同，或与其中一组倾斜照明光源的照明波长相同。本发明利用照明光场的波长差异性，通过控制模块并行施加多色倾斜照明光场，利用多色图像探测器阵列快速并行采集各照明波长下被观测样品的远场像；借助数据处理模块，结合移频重构算法获取被观测样品宽频段空间频谱信息，重构恢复被观测样品的像，快速提升整个显微系统的成像速度。
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公开(公告)号：CN112326672A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011232223.2
申请日：2020-11-06
IPC: G01N21/88 , G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于多色并行移频照明的快速成像系统，包括光源、显微物镜、管镜、多色图像探测器阵列、控制模块和数据处理模块，光源包括垂直照明光源和两组以上倾斜照明光源；同一组倾斜照明光源的照明波长相同，不同组倾斜照明光源的照明波长不同；垂直照明光源的照明波长与任一组倾斜照明光源的照明波长不同，或与其中一组倾斜照明光源的照明波长相同。本发明利用照明光场的波长差异性，通过控制模块并行施加多色倾斜照明光场，利用多色图像探测器阵列快速并行采集各照明波长下被观测样品的远场像；借助数据处理模块，结合移频重构算法获取被观测样品宽频段空间频谱信息，重构恢复被观测样品的像，快速提升整个显微系统的成像速度。
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公开(公告)号：CN114018873B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202111319271.X
申请日：2021-11-09
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种大视场快速高分辨的光学内窥显微方法，所涉及整个系统包括光源、光学透镜、二维色散元件、孔径光阑、分束镜、探测器等，其中，二维色散元件、光纤和微型光学透镜被集成在光学内窥镜头端，该光源通过光频梳芯片的调制，出射光为光学电磁频域离散的光谱信号，进一步，所述电磁频域离散光谱信号通过二维色散元件，生成空间二维分布的共聚焦照明光斑阵列，并被用于对被观测样品进行二维共焦照明成像，结合锁模与干涉增强技术，通过对所获取样品表面信息干涉信息的傅里叶解析，得到被观测样品表面高分辨强度图像和相位信息，本发明所提方法借助飞秒脉冲光的超快特性，可以实现对被观测样品表面像的视频级成像。
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公开(公告)号：CN112326665B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202011039692.2
申请日：2020-09-28
Abstract: 本发明公开了一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统，包括光源、显微物镜、管镜、图像探测器、控制模块和数据处理模块，其中，光源包括垂直照明光源和倾斜照明单元。垂直照明光源和各倾斜照明单元的出射光能够照射到被观测样品上而激发出散射场，散射场经显微物镜收集后再经管镜整形而入射到图像探测器，并由数据处理模块转换成远场强度图。控制模块按时序控制各光源的点亮以及各光源照明下图像探测器对被观测样品散射场信号的采集。数据处理模块通过对被观测样品空间频谱信息的重构，最终实现无论是在透射式照明还是反射式照明条件下，被观测样品表面复杂缺陷特征轮廓信息和细节特征信息的检测成像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114441440A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202111589118.9
申请日：2021-12-23
Abstract: 本发明公开了一种晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括处理单元、控制单元、信号采集单元、位移组件和检测组件；工作过程为位移组件带动晶圆移动，巡边探测单元将拍摄到的晶圆边缘信息结合位移台移动位置，得到晶圆相对于检测组件光轴的坐标位置，随后，根据晶圆的坐标位置移动位移台，线阵探测单元和面阵探测单元分别对晶圆表面进行扫描拍摄，采集得到的数据经信号采集单元传输给处理单元分析使用。本系统中包含了巡边探测单元，能够补偿由于晶圆放置位置的偏差带来的定位偏差，同时，线阵探测单元和面阵探测单元根据位移组件高精度的位置反馈，在不同位置拍摄图像，可以建立晶圆位置与图像的对应关系，有利于后续的图像拼接和缺陷识别处理。
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公开(公告)号：CN112710611A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202110026818.0
申请日：2021-01-09
Abstract: 本发明公开了一种环形光纤束照明装置，包括会聚透镜、一分多束的光纤束、安装支架和光学元件，一分多束的光纤束中的各根光纤的弯折半径大于100毫米，安装支架设有光路通道，光学元件安装于光路通道中，光源经会聚透镜会聚后耦合到一分多束的光纤束的母光纤束中，一分多束的光纤束的各子光纤束分别以垂直于物面的方向插入到光路通道中且各子光纤束呈环形分布，一分多束的光纤束的子光纤束发出的光束以垂直于物面的角度出射且经对应的光学元件准直并转折后以环形照明光倾斜照射到物面上。本发明在使用石英光纤等弯折半径较大的光纤作传导介质且一分多束的光纤束的子光纤束数量较多时仍具有紧凑而小型的结构，可实现对半导体晶圆的亚表面缺陷的检测。
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公开(公告)号：CN114459736B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202111572710.8
申请日：2021-12-21
Abstract: 本发明公开了一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法。激光对焦系统通常用于无限远共轭光学系统中，可以检测物方待测样品的位置。其耦合到对应的检测系统或者观察系统中，虽然能够获得一致的对焦结果，但是由于激光对焦系统本身的误差，激光对焦系统耦合到系统中的安装误差以及激光对焦系统波长与检测或者成像系统使用波长的差异，导致激光对焦系统认定的样品位置并非检测系统或观察系统的成像最清晰位置，因此需要设置激光对焦系统的偏移量。本发明提出了一种激光对焦成像系统，能够判断样品上表面与激光对焦系统的焦面的相对位置，同时，提出了一种自动化设置偏移量的方法。本发明具有成本低，精度高，自动化程度高的特点。
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公开(公告)号：CN115774326A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211495257.X
申请日：2022-11-26
Abstract: 本发明涉及一种成像系统，具体涉及一种筒镜系统的共焦补偿组件及其使用方法，所述的筒镜系统包括照明装置、样品、物镜、反射镜、筒镜和成像接收器；所述的照明装置朝向样品设置，样品在吸收照明装置发出的激光能量后，发出具有特征波长的光束；所述的物镜、反射镜、筒镜和成像接收器依次设置于样品发出的光束的光路上；所述的反射镜与筒镜之间的光路上还设有带通滤光片；所述的共焦补偿组件为设置于筒镜与成像接收器之间的用于调节成像点位置的调焦设备。与现有技术相比，本发明解决现有技术中双胶合透镜与三胶合透镜难以同时对紫外、可见光、近红外的成像谱段进行消色差和复消色差，实现了对宽波段的激发光进行共焦成像补偿。
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公开(公告)号：CN112505064B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202011506981.9
申请日：2020-12-18
Applicant: 之江实验室 , 浙江大学 , 中电科风华信息装备股份有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明是一种晶圆缺陷检测系统及方法，包括处理单元、控制组件、位移组件、检测组件和信号采集单元，所述位移组件与检测组件配合设置，位移组件通过位移控制检测组件的检测信号采集及运动，所述控制组件通过指令控制位移组件的移动，间接控制检测组件的检测信号采集，所述检测组件采集的信号及控制组件的指令信息传输到信号采集单元，所述信号采集单元将采集的信号传输给处理单元处理，得到缺陷信息；本发明降低了对面阵探测器灵敏度的要求，可以有效地降低探测器成本；相对传统扫描方式，可以极大的提升整个系统的检测速度；由于面阵探测器在面区域曝光过程中不移动，可以改善传统扫描方式抖动模糊的问题，提高缺陷的检测识别率。
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