公开(公告)号：CN113382824A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202080012099.0

申请日：2020-03-02

Applicant: 丸石产业株式会社

Inventor： 矢岛利康 ,  饭田松夫 ,  二宫大辅 ,  龙野慎平

IPC: B24B37/12 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明有关于使用于研磨装置且为供研磨垫贴附的平台的改良。本发明的平台包含平台本体、及于前述平台本体的供前述研磨垫贴附的表面形成的由离型膜或离型纸所构成的离型层。离型层的表面的剥离力为0.08N/50mm以上5.0N/50mm以下。本发明可适用于利用具有粘合剂的一般的研磨垫的研磨装置。依据本发明，可比以往更容易地进行研磨垫的固定作业及交换作业。

公开(公告)号：CN214771284U

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202120217077.X

申请日：2021-01-26

Applicant: 丸石产业株式会社

Inventor： 矢岛利康 ,  二宫大辅 ,  龙野慎平

IPC: B24B37/22

Abstract: 本实用新型涉及一种研磨垫，为无纺布型式的研磨垫，能展现较目前更优选的平坦性，同时可抑制损伤产生而研磨精度优异。本实用新型涉及一种研磨垫，为使具有研磨面的研磨层、与具有固定在平台的固定面的缓冲层贴合而成的研磨垫。于该构成中，研磨层由阿斯克C型硬度70以上90以下的无纺布所构成，缓冲层由阿斯克C型硬度40以上且未达70的无纺布所构成。本实用新型中的无纺布为使无规堆积的树脂纤维含浸于树脂而成，树脂纤维是聚对酞酸乙二酯纤维、尼龙纤维、或聚丙烯纤维。