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公开(公告)号：CN113382824A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202080012099.0
申请日：2020-03-02
Applicant: 丸石产业株式会社
IPC: B24B37/12 , H01L21/304
Abstract: 本发明有关于使用于研磨装置且为供研磨垫贴附的平台的改良。本发明的平台包含平台本体、及于前述平台本体的供前述研磨垫贴附的表面形成的由离型膜或离型纸所构成的离型层。离型层的表面的剥离力为0.08N/50mm以上5.0N/50mm以下。本发明可适用于利用具有粘合剂的一般的研磨垫的研磨装置。依据本发明，可比以往更容易地进行研磨垫的固定作业及交换作业。
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