布线基板的制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114080115B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202110960010.X

    申请日:2021-08-20

    Abstract: 提供基底层与种子层的密合性提高了的布线基板的制造方法。向被覆层(13A)的布线部分(13a)照射激光(L),在基底层(12)与布线部分(13a)之间形成构成基底层(12)的元素和构成被覆层(13A)的元素相互扩散了的扩散层(14)。通过将被覆层(13A)之中的布线部分(13a)以外的部分从基底层(12)除去,从而形成种子层(13)。在阳极(51)与种子层(13)之间配置固体电解质膜(52),在阳极(51)与基底层(12)之间施加电压,从而在种子层(13)的表面形成金属层(15)。将从种子层(13)露出的基底层(12)的露出部分(12c)从基材(11)除去。

    金属被膜的成膜装置和成膜方法

    公开(公告)号:CN114262925A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202110856960.8

    申请日:2021-07-28

    Abstract: 本发明提供能够以均匀的膜厚形成金属被膜的金属被膜的成膜装置和成膜方法。本发明的金属被膜的成膜装置,具备阳极、设置于上述阳极与成为阴极的基材之间的固体电解质膜、对上述阳极与上述阴极之间施加电压的电源部、在上述阳极与上述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的溶液的溶液收纳部、以及通过上述溶液的液压将上述固体电解质膜向上述阴极侧加压的加压部,利用上述固体电解质膜对上述基材的表面加压,并且通过施加上述电压而使上述固体电解质膜的内部所含有的上述金属离子析出,由此在上述基材的表面形成金属被膜,其特征在于,还具备以包围上述阳极的外周面的方式设置的遮蔽电力线的遮蔽部件。

    布线基板的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113853067A

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN202110697059.0

    申请日:2021-06-23

    Abstract: 提供一种使用固体电解质膜来制造具备预定布线图案的布线层的布线基板的方法。首先,准备带种子层基材。带种子层基材包括:绝缘性基材,其具有由第1区域和作为所述第1区域以外的区域的第2区域构成的主面;和导电性的种子层,其设置在所述第1区域上。接着,至少在所述第2区域上形成导电层,得到第1处理基材。接着,在第1处理基材上形成绝缘层。接着,使所述种子层露出。接着,在所述种子层的表面形成金属层。在此,在所述第2处理基材与阳极之间配置含有包含金属离子的溶液的固体电解质膜,在使所述固体电解质膜与所述种子层压接的同时对所述阳极与所述种子层之间施加电压。然后,除去所述绝缘层和所述导电层。

    空气燃料比传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102483388A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080037417.5

    申请日:2010-04-15

    CPC classification number: G01N27/4075

    Abstract: 一种空气燃料比传感器包括:固体电解质层;测量电极,其被层叠在所述固体电解质层的第一面上;参考电极,其被层叠在所述固体电解质层的与其第一面不同的第二面上,使得所述参考电极和所述测量电极彼此相对,所述固体电解质层被插入在所述参考电极与所述测量电极之间;多孔扩散抵抗层,其允许气体在其中通过,并覆盖所述测量电极;以及催化剂层,其包括催化剂金属和基材,所述催化剂金属被支撑在所述基材上。所述催化剂层允许气体在其中通过并覆盖所述多孔扩散抵抗层。所述催化剂金属为铂-钯-铑合金,并且在所述催化剂层的总量被表示为100质量%时,所述催化剂金属包含2到9质量%的铑。

    布线基板的制造方法及布线基板

    公开(公告)号:CN113056108B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202011425758.1

    申请日:2020-12-09

    Abstract: 本公开提供布线基板及其制造方法,能均匀地形成构成布线层的金属层的层厚。准备带种层的基材(10),该基材(10)是在基材(11)的表面设置有具有导电性的第1基底层(12),在第1基底层(12)的表面设置有具有导电性的第2基底层(13),在第2基底层(13)的表面设置有含金属的种层(14)的基材。在阳极(51)与阴极的种层(14)间配置固体电解质膜(52),对阳极(51)与第1基底层(12)间施加电压,在种层(14)的表面形成金属层(15)。从基材(11)除去第2基底层(13)中的从种层(14)露出的部分(13a)。从基材(11)除去第1基底层(12)中的从种层(14)露出的部分(12a)。第1基底层(12)由导电性比第2基底层(13)高的材料形成。

    金属被膜的成膜方法和金属被膜的成膜装置

    公开(公告)号:CN114318481B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202110993317.X

    申请日:2021-08-26

    Abstract: 本发明涉及金属被膜的成膜方法和金属被膜的成膜装置。提供可防止污渍、变色的发生的金属被膜的成膜方法和成膜装置。在固体电解质膜(12)与基材(W)接触的状态下测定阳极(11)与基材(W)之间的交流阻抗。进行在交流阻抗中表示固体电解质膜(12)与基材(W)的接触状态的规定频率下的虚部是否为预先设定的可实施成膜的可成膜值以上的判定。虚部为可成膜值以上时,在用固体电解质膜(12)挤压基材(W)的状态下,形成金属被膜(F)。虚部比可成膜值小时,解除固体电解质膜(12)对基材(W)的挤压,使固体电解质膜(12)与基材(W)分离,用一定的张力使固体电解质膜(12)重新张紧后,在用重新张紧的固体电解质膜(12)膜挤压基材(W)的状态下形成金属被膜(F)。

    金属覆膜的成膜装置及其成膜方法

    公开(公告)号:CN115976611A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202211256867.4

    申请日:2022-10-14

    Abstract: 本发明涉及金属覆膜的成膜装置及其成膜方法,抑制在金属覆膜(F)的表面产生凹凸,谋求成膜品质的提高。成膜装置(1)具备:阳极(11);固体电解质膜(13),配置于阳极与基材(B)之间;电源部(14),将基材作为阴极,对阳极与基材之间施加电压;及液收纳体(15),以分离的状态保持阳极和固体电解质膜,在阳极与固体电解质膜之间收纳包含金属离子的电解液(L)。固体电解质膜包括:中央部(13a),是与基材和电解液接触的部分;以及外缘部(13b),位于中央部的外侧。成膜装置具备拉膜机构(18),在液收纳体中收纳有加热后的电解液的状态下,该拉膜机构从中央部朝向外缘部对中央部施加拉伸力,使固体电解质膜的中央部伸长。

    金属被膜的成膜装置和成膜方法

    公开(公告)号:CN114540927A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202111374943.7

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 提供能够以均匀的膜厚形成金属被膜的金属被膜的成膜装置和成膜方法。本发明的金属被膜的成膜装置,其特征在于,具备:阳极;设置于所述阳极与成为阴极的基材之间的固体电解质膜;向所述阳极和所述阴极之间施加电压的电源部;在所述阳极与所述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的溶液的溶液收纳部;和利用所述溶液的液压将所述固体电解质膜向所述阴极侧加压的加压部,一边由所述固体电解质膜对所述基材的表面的成膜区域进行加压,一边通过施加所述电压而使在所述固体电解质膜的内部含有的所述金属离子析出,由此在所述成膜区域形成金属被膜,所述成膜装置还具备辅助阴极,所述辅助阴极设置于俯视所述基材的表面的情况下的所述成膜区域的周围,且电位比所述阳极低。

    布线基板的制造方法及布线基板

    公开(公告)号:CN113056108A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202011425758.1

    申请日:2020-12-09

    Abstract: 本公开提供布线基板及其制造方法,能均匀地形成构成布线层的金属层的层厚。准备带种层的基材(10),该基材(10)是在基材(11)的表面设置有具有导电性的第1基底层(12),在第1基底层(12)的表面设置有具有导电性的第2基底层(13),在第2基底层(13)的表面设置有含金属的种层(14)的基材。在阳极(51)与阴极的种层(14)间配置固体电解质膜(52),对阳极(51)与第1基底层(12)间施加电压,在种层(14)的表面形成金属层(15)。从基材(11)除去第2基底层(13)中的从种层(14)露出的部分(13a)。从基材(11)除去第1基底层(12)中的从种层(14)露出的部分(12a)。第1基底层(12)由导电性比第2基底层(13)高的材料形成。

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