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公开(公告)号：CN115976611A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211256867.4
申请日：2022-10-14
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 本发明涉及金属覆膜的成膜装置及其成膜方法，抑制在金属覆膜(F)的表面产生凹凸，谋求成膜品质的提高。成膜装置(1)具备：阳极(11)；固体电解质膜(13)，配置于阳极与基材(B)之间；电源部(14)，将基材作为阴极，对阳极与基材之间施加电压；及液收纳体(15)，以分离的状态保持阳极和固体电解质膜，在阳极与固体电解质膜之间收纳包含金属离子的电解液(L)。固体电解质膜包括：中央部(13a)，是与基材和电解液接触的部分；以及外缘部(13b)，位于中央部的外侧。成膜装置具备拉膜机构(18)，在液收纳体中收纳有加热后的电解液的状态下，该拉膜机构从中央部朝向外缘部对中央部施加拉伸力，使固体电解质膜的中央部伸长。
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