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公开(公告)号：CN106158551B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201610542509.8
申请日：2016-07-08
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明公开了自对准聚焦结构的纳米线冷阴极电子源阵列及其制作方法。该电子源阵列结构包括衬底，制作在衬底上平行排列的底部阴极电极条和底部栅极电极条，覆盖在上述电极条上的绝缘层，制作在绝缘层上方通过绝缘层上刻蚀通孔与底部相应电极条连接的环状顶部栅极电极和顶部阴极电极以及聚焦极电极，制作在顶部阴极电极上的圆形纳米线冷阴极阵列。本发明还进一步公开了所述纳米线冷阴极电子源阵列的制作方法。本发明提供的自对准聚焦极结构可逐行寻址的纳米线冷阴极电子源阵列结构，其制作工艺简单，具有较好的调控电子发射和聚焦电子束的能力，在平板X射线源方面有重要应用前景。
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公开(公告)号：CN104851846A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510132952.3
申请日：2015-03-25
Applicant: 中山大学
IPC: H01L23/29 , H01L21/56 , C08J5/18 , C08L33/12 , C08L25/06 , C08L79/08 , C08K9/06 , C08K9/04 , C08K3/36 , C08F120/14 , C08F112/06 , C08G73/10
Abstract: 本发明公开一种柔性防水氧封装结构，包括有机聚合物材料与无机物颗粒组成，所述无机物颗粒分散在所述有机聚合物材料中，所述无机物颗粒表面经含可反应基团的改性剂改性分散于有机聚合物材料中。进一步以外提供这种防水氧封装结构的制备方法和应用，通过简单低成本的工艺实现高效的防水氧阻隔性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106158551A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610542509.8
申请日：2016-07-08
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明公开了自对准聚焦结构的纳米线冷阴极电子源阵列及其制作方法。该电子源阵列结构包括衬底，制作在衬底上平行排列的底部阴极电极条和底部栅极电极条，覆盖在上述电极条上的绝缘层，制作在绝缘层上方通过绝缘层上刻蚀通孔与底部相应电极条连接的环状顶部栅极电极和顶部阴极电极以及聚焦极电极，制作在顶部阴极电极上的圆形纳米线冷阴极阵列。本发明还进一步公开了所述纳米线冷阴极电子源阵列的制作方法。本发明提供的自对准聚焦极结构可逐行寻址的纳米线冷阴极电子源阵列结构，其制作工艺简单，具有较好的调控电子发射和聚焦电子束的能力，在平板X射线源方面有重要应用前景。
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公开(公告)号：CN104851844A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510132928.X
申请日：2015-03-25
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明提供了一种应用于柔性电子与显示器件防水氧封装的防水氧阻隔层，利用无机物颗粒散布于聚合物层上，所述聚合物结构为有机聚合物层或无机有机复合材料层，所述的无机物颗粒通过化学反应生成或接枝在所述有机聚合物层表面。进一步以外提供这种防水氧阻隔层的制造方法，通过简单低成本的工艺实现高效的防水氧阻隔性能。
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公开(公告)号：CN107818899B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201711063201.6
申请日：2017-11-02
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明公开了一种可行列寻址的共面聚焦纳米冷阴极电子源阵列。该电子源阵列结构通过刻蚀通孔以及环状顶部环状栅极电极实现分段电极桥接串联，可以在聚焦极和栅极在同一个平面的情形下实现纳米冷阴极电子源行列寻址功能。本发明进一步公开了所述纳米冷阴极电子源阵列的制作方法。本发明的纳米冷阴极电子源阵列制备工艺简单，有较好的聚焦电子束能力以及可寻址发射能力，作为大面积电子源在平板X射线源、场发射显示器等领域有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN107818899A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201711063201.6
申请日：2017-11-02
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明公开了一种可行列寻址的共面聚焦纳米冷阴极电子源阵列。该电子源阵列结构通过刻蚀通孔以及环状顶部环状栅极电极实现分段电极桥接串联，可以在聚焦极和栅极在同一个平面的情形下实现纳米冷阴极电子源行列寻址功能。本发明进一步公开了所述纳米冷阴极电子源阵列的制作方法。本发明的纳米冷阴极电子源阵列制备工艺简单，有较好的聚焦电子束能力以及可寻址发射能力，作为大面积电子源在平板X射线源、场发射显示器等领域有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN104851844B
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201510132928.X
申请日：2015-03-25
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明提供了一种应用于柔性电子与显示器件防水氧封装的防水氧阻隔层，利用无机物颗粒散布于聚合物层上，所述聚合物结构为有机聚合物层或无机有机复合材料层，所述的无机物颗粒通过化学反应生成或接枝在所述有机聚合物层表面。进一步以外提供这种防水氧阻隔层的制造方法，通过简单低成本的工艺实现高效的防水氧阻隔性能。
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