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公开(公告)号：CN118583051A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410072543.8
申请日：2024-01-17
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本申请提供一种位置敏感探测器的位置测量标定系统及方法，所述测量标定系统，通过横移平台和竖移平台带动位置敏感探测器进行多方向运行，实现位置敏感探测器沿x轴方向和y轴方向移动，以保证位置敏感探测器的精准测量标定。同时可实现对位置敏感探测器的多位置标定，提高位置敏感探测器的使用精度。
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公开(公告)号：CN117128894A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310638259.8
申请日：2023-05-30
Applicant: 中国计量大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本申请提供一种角度测量系统，与旋转轴配合使用，其包括：光斑位置检测器件、激光发射器和控制器，光斑位置检测器件与激光发射器相对设置，光斑位置检测器件与控制器电连接；激光发射器或光斑位置检测器件随旋转轴旋转，光斑位置检测器件包括激光接收区域，且，当旋转轴旋转时，激光接收区域接收由激光发射器发出的光信号，并输出电流信号至控制器。所述系统，激光接收区域接收激光发射器发出的光信号，通过激光发射器或光斑位置检测器件随旋转轴旋转，从而使激光接收区域接收到旋转后的激光发射器发出的光信号，并输出电流信号至控制器，由控制器给出旋转角度，其测量精度较高，且对于旋转角度处理计算能力较高，输出旋转角度的频率较高。
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公开(公告)号：CN116774244A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310774142.2
申请日：2023-06-27
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种激光跟踪仪标定装置及方法，包括：沿第一方向滑动连接的第一安装台和第二安装台，第一安装台和第二安装台沿第一方向滑动连接；第一安装台上沿所述第一方向依次设有激光跟踪仪、干涉仪、第一安装架和第二安装架，第一安装架和第二安装架均与第一安装台沿第二方向滑动连接，第一方向和第二方向为相互垂直的水平方向，第一安装架安装有靶镜和干涉镜，第二安装架转动安装有反光镜；第二安装台上设有第三安装架，第三安装架与第二安装台沿第二方向滑动连接，第三安装架安装有五棱镜。本申请提供的激光跟踪仪标定装置及方法，结构简单，操作简便，可以快速调节光路长度和反光位置，实现对激光跟踪仪的不同标定工作需求，准确度高。
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公开(公告)号：CN114739292A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210399587.2
申请日：2022-04-15
Applicant: 南京航空航天大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本公开提供一种PSD芯片参数标定装置，包括：激光器驱动电路、激光器、二维精密平台、稳固平台、伺服驱动装置、数据处理电路。本公开还提供一种PSD非线性畸变标定方法，包括：设置一定边长的网格，同时，令PSD机体坐标系零点作为二维精密平台移动的原点，网格覆盖PSD芯片；获取PSD坐标真值，包括：通过伺服驱动装置控制二维精密平台以边长为步长进行运动进而带动PSD芯片以边长为步长进行运动，使得激光照射至PSD芯片在网格的各个顶点，基于步长记录PSD在网格的各个顶点的坐标真值；获取PSD坐标读数；基于PSD坐标真值和PSD坐标读数，建立PSD芯片在网格各个顶点坐标误差模型；以及对误差模型通过插值方法进行畸变补偿。本公开还提供了一种PSD机体坐标系标定方法。
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公开(公告)号：CN115950388A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211611722.1
申请日：2022-12-14
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种反射式激光跟踪仪两轴与反射镜平移误差测量装置及方法。该装置包括：二维精密转台，包括转台主体、水平轴、垂直轴和反射镜；三坐标测量仪，包括测量平台和测针，测针用于对反射镜进行多个第一点位测量，并利用多个第一点位拟合成为反射面，调平装置，用于搭载二维精密转台，并对二维精密转台进行水平调平。测量装置，用于测量二维精密转台是否水平以及测量反射镜与水平轴、垂直轴的平移误差。该方法通过二维精密转台的水平轴和垂直轴带动反射镜，测量反射镜与水平轴的平移误差以及水平轴与垂直轴的平移误差。本申请有效获取二维精密转台与两轴之间的平移误差，从而获取真实的误差补偿数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115789202A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211528822.8
申请日：2022-11-30
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种螺纹凸轮联动式差速器，包括：顺次连接的螺纹机构、联动筒和凸轮机构；所述螺纹机构包括套设螺纹连接的主动筒和移动筒，所述移动筒与所述联动筒通过第一连接件固定连接，所述移动筒在所述主动筒的转动螺纹作用下带动所述联动筒作直线运动；所述凸轮机构包括凸轮筒和第二连接件，所述第二连接件穿过所述凸轮筒上的凸轮槽固定在所述联动筒上，所述第二连接件在所述联动筒的直线运动作用下在所述凸轮槽内移动，以带动所述凸轮筒作旋转运动。本申请结构小巧、空间占用合理、安装更方便，在使用时不会像现有的行星齿轮组结构那样出现振动问题，并且传动精度更高。
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公开(公告)号：CN119068728A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410848106.0
申请日：2024-06-27
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本公开提供一种机器视觉实验的调整结构及实训平台。具体地，所述调整结构，包括：固定板；承载件，垂直设置于所述固定件上；第一安装组件和第二安装组件，两者均设置于所述承载件上且能够相对所述承载件滑动；第一放置组件，连接于所述第一安装组件上，且用于放置实验样品；第二放置组件，连接于所述第二安装组件上，且用于放置图像采集设备；其中，所述第一放置组件能够相对于所述第一安装组件移动；和/或所述第二放置组件能够相对于所述第二安装组件移动。这样的结构设置，借助于第一放置组件、第二放置组件、第一安装组件和第二安装组件能够灵活调整图像采集设备、实验样品在多个方向的相对位置，能够灵活方便的满足实验要求。
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公开(公告)号：CN116446167A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310217187.X
申请日：2023-03-01
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种布匹瑕疵识别装置及方法，该装置包括：第一传输辊组，包括第一传输辊和第二传输辊，用于沿第一传输辊向第二传输辊传输布匹；压板装置，被配置为给传输的布匹不同的压力以增加布匹的张力；弹性体，设置在传输的布匹的下方，用于对布匹进行承托及对受到压力的布匹提供弹性空间；采集相机，设置在压板装置上，用于对布匹进行数据图像采集；标记装置，设置在第二传输辊的上方，用于识别并标记布匹上存在的瑕疵位置；上位机，分别与压板装置、采集相机、标记装置连接，用于控制压板装置、采集相机、标记装置工作。
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公开(公告)号：CN114739292B
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN202210399587.2
申请日：2022-04-15
Applicant: 南京航空航天大学 , 海宁集成电路与先进制造研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本公开提供一种PSD芯片参数标定装置，包括：激光器驱动电路、激光器、二维精密平台、稳固平台、伺服驱动装置、数据处理电路。本公开还提供一种PSD非线性畸变标定方法，包括：设置一定边长的网格，同时，令PSD机体坐标系零点作为二维精密平台移动的原点，网格覆盖PSD芯片；获取PSD坐标真值，包括：通过伺服驱动装置控制二维精密平台以边长为步长进行运动进而带动PSD芯片以边长为步长进行运动，使得激光照射至PSD芯片在网格的各个顶点，基于步长记录PSD在网格的各个顶点的坐标真值；获取PSD坐标读数；基于PSD坐标真值和PSD坐标读数，建立PSD芯片在网格各个顶点坐标误差模型；以及对误差模型通过插值方法进行畸变补偿。本公开还提供了一种PSD机体坐标系标定方法。
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公开(公告)号：CN115371545A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210804178.6
申请日：2022-07-07
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种激光跟踪仪姿态测量校准装置及方法。该装置包括姿态测量靶标和二维精密转台；所述二维精密转台包括转台主体、俯仰轴和横滚轴，所述俯仰轴转动连接于所述转台主体的上方，所述横滚轴的一端转动连接于所述俯仰轴，所述姿态测量靶标连接于所述横滚轴的另一端；所述横滚轴和所述俯仰轴沿轴向相互垂直。该方法通过二维精密转台的俯仰轴和横滚轴带动姿态测量靶标转动，将姿态测量靶标的俯仰和水平方向进行置换，实现了激光跟踪仪水平方向的姿态角测试，从而实现了激光跟踪仪的三维姿态测量校准。本申请有效地降低了精密转台的设计要求，降低了制造成本，减少了转台的误差传递链，并提高了二维精密转台的测量精度和稳定性。
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