公开(公告)号：CN115950388A

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202211611722.1

申请日：2022-12-14

Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院

Inventor： 蒋海涛 ,  郭政建 ,  周培松 ,  张刘港 ,  敖俊姣 ,  郭雨佳 ,  许燚赟 ,  姚依迪

IPC: G01B21/04 ,  G01C9/00 ,  G01B11/00

Abstract: 本申请提供一种反射式激光跟踪仪两轴与反射镜平移误差测量装置及方法。该装置包括：二维精密转台，包括转台主体、水平轴、垂直轴和反射镜；三坐标测量仪，包括测量平台和测针，测针用于对反射镜进行多个第一点位测量，并利用多个第一点位拟合成为反射面，调平装置，用于搭载二维精密转台，并对二维精密转台进行水平调平。测量装置，用于测量二维精密转台是否水平以及测量反射镜与水平轴、垂直轴的平移误差。该方法通过二维精密转台的水平轴和垂直轴带动反射镜，测量反射镜与水平轴的平移误差以及水平轴与垂直轴的平移误差。本申请有效获取二维精密转台与两轴之间的平移误差，从而获取真实的误差补偿数据。