公开(公告)号：CN119714044A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411897818.8

申请日：2024-12-20

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 武文彬 ,  甘晓川 ,  孙安斌 ,  李艳 ,  钱丰 ,  邹志 ,  郭锁慧 ,  庞子明

IPC: G01B9/02001 ,  G01B9/02 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种连续变倍宽光谱干涉测微装置，包括宽光谱光源、分划板、光学镜头组、物镜组、分光镜、连续变倍镜组、相机、位移台、位移台控制器以及计算单元；光学镜头组用于将从宽光谱光源发出的光束汇聚成平行光束，分光镜用于反射该平行光束和透过干涉光束，干涉光束透过分光镜并经过连续变倍镜组及相机汇聚后形成干涉图像；连续变倍镜组由多组镜片组成，能够通过移动改变镜片之间的间距，实现连续改变焦距，从而实现连续变倍和变视场；计算单元用于根据一系列干涉图像计算出被测表面的纵向高度并重构出被测表面的三维形貌。本发明具有高精度、焦距连续可变、放大倍率连续可变、视场连续可变、重量轻、体积小的优点。