公开(公告)号：CN117629047B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202311631360.7

申请日：2023-11-30

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 王鲁涛 ,  孙安斌 ,  王继虎 ,  任红磊 ,  乔磊 ,  李艳 ,  高廷 ,  甘晓川 ,  曹铁泽 ,  张伟

IPC: G01B7/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种高精度位移传感器数字化检测装置，包括升降基础组件、激光干涉组件、夹持组件，激光干涉组件和夹持组件安装在升降基础组件上，夹持组件用于紧固待检位移传感器，待检位移传感器用于检测升降基础组件的精密工作台的位移变化量，激光干涉组件能够通过精密工作台的运动产生干涉光的变化量，从而得到精密工作台的位移变化量，本发明通过升降基础组件实现高精度的位移量的调整，通过激光干涉组件实现调整后位移的测量，通过夹持组件实现不同类型传感器的夹持与调整。本发明能够实现高精度位移传感器的高效率的连续的数字化检测。

公开(公告)号：CN117629047A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311631360.7

申请日：2023-11-30

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 王鲁涛 ,  孙安斌 ,  王继虎 ,  任红磊 ,  乔磊 ,  李艳 ,  高廷 ,  甘晓川 ,  曹铁泽 ,  张伟

IPC: G01B7/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种高精度位移传感器数字化检测装置，包括升降基础组件、激光干涉组件、夹持组件，激光干涉组件和夹持组件安装在升降基础组件上，夹持组件用于紧固待检位移传感器，待检位移传感器用于检测升降基础组件的精密工作台的位移变化量，激光干涉组件能够通过精密工作台的运动产生干涉光的变化量，从而得到精密工作台的位移变化量，本发明通过升降基础组件实现高精度的位移量的调整，通过激光干涉组件实现调整后位移的测量，通过夹持组件实现不同类型传感器的夹持与调整。本发明能够实现高精度位移传感器的高效率的连续的数字化检测。