公开(公告)号：CN106767390B

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201611133620.8

申请日：2016-12-10

申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明人： 王飞 ,  史振广 ,  田伟 ,  隋永新

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/24

摘要： 本发明提供的一种干涉仪光学系统，包括光源、聚光镜、滤光片、视场光阑、分光镜、准直镜、移相器、显微物镜、电荷耦合元件，所述光源发出的光线依次经过所述聚光镜、所述滤光片、所述视场光阑、所述分光镜、所述准直镜、所述移相器、进入所述显微物镜，经所述显微物镜的分光面分光后，一部分光线反射到所述显微物镜的参考反射面，经所述参考反射面反射返回，另一部分光线透过所述显微物镜的分光面到达被测面，经被测面反射返回，再次穿过所述分光面后与经所述参考反射面反射的光线重合，发生干涉并经所述分光镜反射后进入所述电荷耦合元件，产生干涉图样，本发明元件少，结构简单，易于保证镜筒机械加工精度，降低装调难度。

公开(公告)号：CN106767390A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611133620.8

申请日：2016-12-10

申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明人： 王飞 ,  史振广 ,  田伟 ,  隋永新

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/2441

摘要： 本发明提供的一种干涉仪光学系统，包括光源、聚光镜、滤光片、视场光阑、分光镜、准直镜、移相器、显微物镜、电荷耦合元件，所述光源发出的光线依次经过所述聚光镜、所述滤光片、所述视场光阑、所述分光镜、所述准直镜、所述移相器、进入所述显微物镜，经所述显微物镜的分光面分光后，一部分光线反射到所述显微物镜的参考反射面，经所述参考反射面反射返回，另一部分光线透过所述显微物镜的分光面到达被测面，经被测面反射返回，再次穿过所述分光面后与经所述参考反射面反射的光线重合，发生干涉并经所述分光镜反射后进入所述电荷耦合元件，产生干涉图样，本发明元件少，结构简单，易于保证镜筒机械加工精度，降低装调难度。