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公开(公告)号：CN107687825A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201610633668.9
申请日：2016-08-04
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明公开了一种光学元件表面质量检测镜头，包括：光源、第一分束单元、第一聚光单元、第二聚光单元、第二分束单元、第一探测单元和第二探测单元。所述第一分束单元用于将所述光源发出的光分为检测光和参考光，并将这两部分光分别入射至所述第一聚光单元和所述第二聚光单元；所述第一聚光单元用于接收所述检测光，变成会聚光聚焦到测量表面；所述第二聚光单元用于接收所述参考光，并入射至所述第二分束单元；所述第二分束单元用于接收从测量表面反射的经过所述第一聚光单元的检测光和通过所述第二聚光单元的参考光，并将所接收到的探测光和参考光分为第一探测光和第二探测光分别入射至所述第一探测单元和第二探测单元。
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公开(公告)号：CN104493665B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201410838054.5
申请日：2014-12-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/06
摘要： 本发明一种用于抛光的多路径融合方法，属于光学加工技术领域，解决了现有多路径加工表面不均匀、加工痕迹残留的技术问题；首先确定两相邻路径的分界线并将其扩充为一定区域；然后对该交界区域内的面形进行分割；将分割后的面形分别归于左右区域，并重新计算两区域的路径与面形；根据两区域的路径与面形分别计算驻留时间；控制机床分别按两路径进行加工；重复以上过程直至加工结果满足要求。本方法计算简单、处理速度快，加工效果好，可充分利用不同路径的优点进行综合加工。
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公开(公告)号：CN106392883A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610957048.0
申请日：2016-10-27
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B49/04
CPC分类号： B24B49/04
摘要： 本发明涉及一种光学元件粗糙度在线检测系统，包括一个可沿笛卡尔坐标系的X、Y及Z轴方向运动的检测本体；检测本体上设有一个绕第一支点摆动的第一摆动轴，在检测本体的任一运动位置上，第一摆动轴的摆动面与笛卡尔坐标系的XOZ面平行或重合；在第一摆动轴远离第一支点的一端还转动连接有第二摆动轴，在检测本体及第一摆动轴的任一运动位置上，第二摆动轴的摆动面与YOZ面平行或重合；在第二摆动轴远离第一摆动轴的一端设有用于进行粗糙度测量的震动不敏感轮廓仪；所述检测系统还包括一个用于夹持所述光学元件的工装夹具；还包括一个控制装置。本方案实现了对光学元件的在线粗糙度的检测工作，有效提高了加工效率，节约了加工成本。
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公开(公告)号：CN105550421A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510900722.7
申请日：2015-12-09
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G06F17/50
CPC分类号： G06F17/5086 , G06F2217/12
摘要： 一种复合抛光路径，涉及光学加工技术领域。本发明为了解决一般极坐标路径容易造成光学元件表面出现同心圆状中频误差的问题，通过在一般极坐标路径的基础上附加偏移项的方式构造了一种复合抛光路径，该复合抛光路径的偏移项的形状可通过周期函数λ(κ,θi)进行控制，偏移项的振幅可通过振幅控制函数ζ(b,θi)进行调节。该复合抛光路径具有良好的连续性及光滑性，可以提高极坐标路径在光学元件径向的去除能力，有利于抑制同心圆状中频波纹误差，进而提高加工效率以及加工精度。
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公开(公告)号：CN105479295A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510900678.X
申请日：2015-12-09
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/00
CPC分类号： B24B13/00
摘要： 可均化误差的抛光路径的生成方法，涉及光学加工领域，本发明的目的在于提供一种可均化误差的抛光路径，该路径可以对机床精度、磨头位置、磨头形状等引起的误差进行均化，避免各误差所带来的不利影响，使最终加工后的表面更加平滑，精度更高。该方法实施步骤为：首先确定元件外一点作等角度射线；保留经过元件的射线部分并对其作等距分；然后根据面形误差计算各点驻留时间。最后沿路径做依次往复式运动，且磨头轴线在元件上的投影始终与所处路径重合。本方法可在现有设备和相关配件不进行大幅变动的条件下，降低各种误差所带来的不利影响，提高低精度设备的性能与使用价值。
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公开(公告)号：CN103592893B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310506580.7
申请日：2013-10-24
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G05B19/404
摘要： 一种光学元件加工中自动补偿位姿误差的方法涉及光学元件的加工领域，旨在提供一种无需调整工件而自动消除安装误差的方法。该方法采取如下步骤，首先，将光学元件装夹在机床工作台上并对光学元件表面进行测量。然后，根据位姿误差向量构造变换矩阵将实际位置测量点变换为理论位置测量点；建立求解位姿误差向量的目标函数及求解数学模型，并对位姿误差进行求解；根据位姿误差的解建立变换矩阵分别对加工路径上的驻留点位置矢量及方向矢量进行变换。最后，将变换后的驻留点进行后置处理，得到补偿位姿误差后的加工程序。本发明可以精确、快速地补偿光学元件的位姿误差，适用于计算机控制光学加工领域的应用。
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公开(公告)号：CN104155915A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410367151.0
申请日：2014-07-29
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G05B19/19
摘要： 一种光学元件随机加工路径规划方法，涉及光学元件的加工领域，解决现有采用伪随机路径规划方法中存在采用直线连接的方式造成加工过程中机床频繁换向，进而容易产生轮廓误差或过冲等问题，在生成随机加工路径后，首先确定判定阈值并依次读取各驻留点。然后，根据相邻三个驻留点形成的角度与阈值的关系来决定驻留点的连接方式。最后，当符合样条曲线连接条件时则以两端驻留点及其切矢为边界型值点条件及边界相切条件构建三次B样条曲线光顺连接相邻三个驻留点；当不符合样条曲线连接条件时则直接以直线依次连接相邻三个驻留点。本发明使随机加工路径具有更好的光顺性，降低了对加工机床动态性能的要求，有利于保证光学表面的加工质量。
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公开(公告)号：CN102554775A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110452733.5
申请日：2011-12-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B41/047
摘要： 本发明公开了一种十字铰接式磨头，旨在提供一种用于光学元件研磨抛光过程中的抛光工具。十字铰接式磨头包括：活动杆、固定在磨头体上端的U形连接件、安装在U形连接件两个销轴孔内的横向销轴、纵向销轴、磨头体及抛光模。活动杆通过纵向销轴与横向销轴联接，横向销轴与纵向销轴呈垂直分布状态。横向销轴及纵向销轴可以实现磨头沿垂直纸面及平行纸面的方向摆动，活动杆可以带动整个磨头平动或者绕其轴线转动。本发明适用于光学元件的研磨抛光领域，可以提高磨头抛光模与工件表面的贴合程度，有利于提高抛光质量。
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公开(公告)号：CN102528608A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110452739.2
申请日：2011-12-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种组合式抛光磨头涉及光学冷加工技术领域，其包括刚性连接件、联接螺钉、磨头芯子保持架以及多个磨头芯子；刚性连接件连接在机床主轴上并带动整个磨头旋转，联接螺钉用于刚性连接件与磨头芯子保持架的连接，磨头芯子保持架用于安装多个磨头芯子；磨头芯子由粘结在顶端的抛光模、固定在尾端的弹簧、磨头座以及螺纹联接件组成，其尾端的螺纹联接件通过螺母固定在磨头芯子保持架上，磨头芯子的外圆柱面与磨头芯子保持架的内圆柱面留有很小的间隙以保证磨头芯子可以沿轴向自由压缩，弹簧的压缩或拉伸用于改变抛光模的伸出长度，抛光模用于实现材料的去除。本发明可以提高抛光模的使用寿命，提高磨头去除函数的稳定性，提高抛光精度。
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公开(公告)号：CN102501155A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110336171.8
申请日：2011-10-31
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/005
摘要： 本发明公开一种高精度光学元件抛光用夹具，其包括弹性紧固圈、支承座、夹紧套和夹具体；所述弹性紧固圈具有与光学元件的外径相同的内圆周面，该弹性紧固圈还具有外圆锥面；所述支承座具有与光学元件接触面形状相同的支承面和与光学元件外径相同的内圆周面，定位光学元件；所述夹紧套通过与弹性紧固圈的外圆锥面相对应的内圆锥面压紧弹性紧固圈，进而夹紧光学元件；所述支承座通过螺钉与夹具体连接，所述夹紧套与夹具体通过螺纹连接，所述夹具体通过法兰安装在机床的回转工作台上。本发明结构合理、定位准确、完全消除了光学元件与夹具间的相对运动，适用于在平面、球面和非球面等高精度光学元件抛光过程中夹持该元件。
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